立式真空管式炉采用智能化程序控温系统,移相触发、可控硅控制,控温精度高;开启式立式真空管式炉炉膛采用日本技术真空吸附成型的氧化铝多晶体纤维材料;双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温度;开启式炉盖设计,可在高温情况下观察物料反应情况并实现迅速降温;真空级法兰密封,配有真空装置,可以抽真空通气氛;炉体处于立式工作位置,适用于在真空或是气氛保护环境下的材料烧结试验。立式真空管式炉的控制系统,具有安全可靠,操作简单,控温精度高(**PID控制),保温效果好,温度范围大,炉膛温度均匀性高,温区多,可通气氛抽真空,可倾斜角度,炉管可360℃旋转等特点。立式真空管式炉的真空气氛系统:真空密封系统采用特种设计技术,具有操作安全、方便、真空度高,密封性好,真空保持时间长,密封采用不锈钢金属法兰及O型耐高温氟胶圈密封,气体经过流量计后由针型阀开关进入炉管内,阀控配有进气阀,排气、抽真空阀。减压阀,安全阀,可通多种气体、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体,可充入高压气体,气氛压力极限值0.1MPa,采用独特的密封技术,可长时间保压,安全性能好,操作方便。企业在使用真空管式炉时,需要就其工作原理进行了解,从而合理的发挥出设备的使用效率。中山PECVD管式炉实验室**
CVD管式炉1.按温度高低的来分可分为:RGF1800型,RGF1700型,RGF1600型,RGF1500型,RGF1400型,RGF1300型,RGF1200型,RGF1100型,RGF1000型,RGF900型,RGF800型等。2.按炉型大小来分可分为:RGF大型管式气氛炉,RGF中型管式气氛炉,RGF小型管式气氛炉,RGF微型管式气氛炉等。3.按控温精度来分可分为:RGF精细智能一体式管式气氛炉,RGF精细式管式气氛炉,RGF标准式管式气氛炉等。4.按管式气氛炉材质分为:RGF氧化铝管式气氛炉,RGF刚玉管式气氛炉,RGF石英管式气氛炉,RGF氮化硅管式气氛炉,RGF氮化硼管式气氛炉等。 真空管式炉价格管式炉的炉衬材料:现在的很多设备制造企业也喜欢使用耐火纤维这样的一种材料来作为管式炉的炉衬。
管式炉以电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和多段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,管式炉炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,管式炉双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用耐高温不锈钢、两端用不锈钢法兰密封,可通氮气、氢气、氨气、氯气等,用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。碳硫分析仪与管式炉配套使用,能快速、准确地测定钢、铁及其合金、有色金属、水泥、矿石、玻璃、焦碳、煤、催化剂及其它固体材料中碳、硫两元素的质量分数。是集光、机、电、计算机、分析技术等于一体的高新技术产品,具有测量范围宽、分析结果准确可靠等特点。采用先进的计算机技术,仪器的智能化、屏幕显示的图、文及数据的采集、处理等都达到了目前国内先进水平,是诸多行业测定碳、硫两元素理想的分析仪器设备。
提高管式炉热效率的目的是为了节能,而炼油装置管式炉的节能措施比一般工业炉要灵活得多,一个装置内常常不止一台管式炉,另外还有各种其他设备,它们之间在热能利用方面往往是可以互补的,这就有可能把管式炉同整个装置结合在一起,较全考虑和优化,以便采取综合节能措施。在测量时有一台微机助手的话,在数据处理方面,利用微软电子表格软件的计算和自动制图功能,那么测试管式炉的温场分布工作将会变的简单方便。对于新安装和使用一段时间的电阻炉以及修理后的管式炉,必须对其轴向温场分布进行测试,以便于其进行调整,确保热电偶的检定质量。箱式气氛炉节能型的陶瓷纤维材料和双层外壳结构,具有升降温速度快,能耗低。
多温区管式炉的保养:一、炉子使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。二、炉膛若采用刚玉炉管,依据刚玉材料的物理性质,各温区的升﹑降温速率不宜过快(≤5℃),严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放,以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透(又叫析晶性)是石英管的一个固有缺陷,属正常现象。三、管式炉在气氛条件下使用,气体在高温下会膨胀,导致管内压力变大,使用者应及时开启针阀,排出气体。 炉体采用双层炉壳结构,双层炉壳之间装有风机,可以快速升降温,炉壳表面温度低。珠海CVD管式炉批发价
真空管式炉的零件老化以后就会影响工作的效率,对于器件的处理上就会不尽完美。中山PECVD管式炉实验室**
PECVD管式炉的具体工艺流程?硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在,促进气体分子的分解、化合、激发和电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度。PECVD在200℃~500℃范围内成膜,远小于其它CVD在700℃~950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中,使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性,达到表面钝化和体钝化的目的。 中山PECVD管式炉实验室**