仪表的内部参数不要乱改，以防电炉不能正常运行。炉门轻关轻拉。1、炉子初次使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。2、禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。3、炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体。4、冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛。5、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。6、硅钼棒作为加热元件时不宜在400-700℃温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。 管式炉充入气体注意：接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。山西CVD管式炉高校**
立式管式炉采用先进技术，加热元件为硅碳棒电加热，较高使用温度1300℃。室温升温至较高使用温度≤30min,控温精度≤±1℃。炉管管径40长810mm的石英管,管口装有不锈钢法兰密封装置，及双头带阀进气管，能通二种气氛，加热区长度≤380mm。立式管式炉的炉膛材料为的超轻质节能纤维，使炉体的能耗大幅降低，升温耗电光是传统炉型的60%，空耗功率是传统炉型的50-60%，外壳冷板喷塑，立式支架固定。立式管式炉的控制系统采用LTDE可编程控制器，具有自动恒温，定时及曲线升温功能，温度梯度按需要设定。立式管式炉以高等电阻丝为加热元件，炉管立放入炉子中，旋进旋涡流量计采用双层壳体结构和进口40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。立式管式炉采用多段智能型程序控制器全过程自动控制温度，综合性能指标较高，处于国内水平。该炉具有使用温度高、高精度控温、操作简单、维修方便等优点，可普遍用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门。天津多温区管式炉参考价管式炉的使用注意事项：使用冷炉的时候，由于管式炉膛是冷的，需要大量吸热，所以低温段升温速率不能过快。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。
多温区管式炉注意事项：1.多温区管式炉操作注意事项炉子初次使用或长时间不用后，要在120度左右烘炉1小时，在300度左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。2.禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保护颅内清洁。3.炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体，4.冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不宜过快，各种温度段的升温速率差别不宜太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛，5.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是良好，应特别注意加热元件的各连接是否紧固。6.硅钼棒作为加热元件时不宜在400-700度温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。7.硅钼棒做加热元件时，长时间运行，阻值会逐渐增大，这种现象叫“老化”。 马弗炉使用时炉膛温度不能超过较高炉温，也不能在额定温度下长时间工作。
管式炉怎样实现程序控温？1、管式炉温度测量与控制。热电偶采集信号通过控温仪表测量出控制触发板控制可控硅导通角的大小，从而控制主回路加热元件电流大小，使管式炉保持在设定的工作温度状态。2、管式炉可控硅控制。管式炉可控硅温度控制器由主回路和控制回路组成。管式炉主回路是由可控硅，过电流保护快速熔断器、过电压保护管式炉的加热元件等部分组成。控制回路是由直流信号电源、直流工作电源、电流反馈环节、同步信号环节、触发脉冲产生器、温度检测器和管式炉的控温仪表等部分组成。使用真空管式炉的操作：把热电偶通过偶孔插入。天津多温区管式炉参考价
企业在使用真空管式炉时，需要就其工作原理进行了解，从而合理的发挥出设备的使用效率。山西CVD管式炉高校**
高温箱式气氛炉电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上，观察直观，调节方便，温控仪具有PID调节功能，可自动追踪设定较佳PID值，可任意设定测量分度密码，同时具备补偿功能，可使炉膛温度与显示值一致，控温方式:采用德国西门子技术，具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制，0~98%输出可调节，面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌。适合各类大专院校实验室、工矿企业化验室，供化学分析、物理测定，以及金属、陶瓷的烧结和熔解、小型钢件等加热、焙烧、烘干、热处理用。山西CVD管式炉高校**
