管式炉炉膛为一长方形,采用u形硅碳棒两侧加热,共4根,装置运用便利。其两头开有圆孔,便于刚玉炉管穿过炉膛。炉膛资料采用1500型陶瓷纤维,其他保温采用1260陶瓷纤维资料,具有的节能功能和疾速升温功能。管式炉针对实验室的使用要求,装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上,打开并取出炉管一端的密封端盖,放入带料盒的料盒支架,再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛,直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后,应继续通人小量的工艺气氛并进行降温,直到炉内温度低于工艺要求时,方可打开炉管密封端盖取出产品。PECVD管式炉当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态。深圳箱式炉厂家
管式炉的工作原理是:燃料在管式炉的辐射室(极少数在单独的燃烧室)内燃烧,释放出的热量主要通过辐射传热和对流传热传递给炉管,再经过传导传热和对流传热传递给被加热介质,这就是管式炉的工作原理。管式炉炉管内外受哪些腐蚀影响?1)炉管内介质的腐蚀:硫腐蚀、环烷酸腐蚀、氢损伤、氢加硫化氢腐蚀、连多硫酸腐蚀等;2)炉管管外介质腐蚀:高温部位的钒腐蚀和低温部位的露的点腐蚀。管式炉使用须知:烘炉注意事项:a:烘炉通蒸汽时必须先脱水,缓慢进行,防止水击。b:炉膛分别升至150℃、320℃时恒温,目的是脱除吸附水和结晶水。c:烘炉过程中要加强检查,升温要匀速缓慢,严格按烘炉升温曲线进行,发现异常现象立即请示处理。烘炉后的检查:a:检查各部砌砖有无裂缝,耐火衬里有无脱落,钢架、吊挂有无弯曲变形,炉管有无变形,基础有无下沉等。b:如果耐火衬里表面脱落深度超过15mm,或脱落深度达到耐火层厚度的五分之一时,需要进行凿洞修补。c:如果耐火衬里出现大于3mm的皲裂,如何处理由设计单位研究决定。d:炉膛在烘炉前放的砖样进行取样分析水份,低于7%为合格,等待正常开工。韶关箱式炉用途使用真空管式炉的操作:升温和定温分别是以红灯和绿灯表示的,红灯表示恒温,绿灯则表示升温。
PECVD管式炉的具体工艺流程?硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在,促进气体分子的分解、化合、激发和电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度。PECVD在200℃~500℃范围内成膜,远小于其它CVD在700℃~950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中,使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性,达到表面钝化和体钝化的目的。
真空管式实验电炉的工作原理为:采用石英管或刚玉管为密封容器,选用不锈钢材质的密封法兰,使得石英管或刚玉管在满足密封的条件下,同时可以非常方便的取放实验材料。使用真空管式实验电炉时,只需将实验材料放入石英管或刚玉管内,通过不锈钢法兰将石英管或刚玉管进行密封,通过真空泵或法兰上预留的进气口,抽取石英管或刚玉管内的气体或通入特定的气氛,在对石英管或刚玉管进行加热即可满足实验的要求。真空管式实验电炉在通入气氛时,建议先预抽一下真空,再通入相应的气氛,如条件允许,要反复进行几次,这样在实验时,高温电炉炉管内的气氛纯度将更高。初次炉子使用或长时间不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小时,在 300℃左右烘烤 2 小时后使用。
管式炉的使用维护及培养温度:1、启动自色整定:本产品能适应绝大多数控制系统,只有控制效果特别不理想时方可启动自整定,按SET键3秒进入仪表内层菜单,选定参数At后配合△或▽键开启自整定,此时At指示灯开始闪烁仪表进入自动整定参数工作状态,仪表控制加热系统在设定点付近波动二次,当At灯灭时自整定结束,新的PID参数被锁存在芯片中。2、设定温度:按SET键可设定温度,按SET键至数码管下排数据闪动,表示仪表进入温度设定状态,按△键设定值增加,按▽键设定值减小,再按一下SET键仪表回到正常工作状态温度设定完毕。3、传感器误差的修正:在确认仪表显示的值不是正确的测量值时可对显示值进行修正。按SET键3秒进入仪表内层菜单,选定参数SC后配合△或▽键可修改此参数。传感器误差的修正的范围为+50到-50,修正完成后再按SET键3秒退出。仪表出厂时修正值为0,使用时要防止把显示正确的仪表修正至不正确。管式炉炉型如何选择:如果被加热介质容易拖析出晶体,或者是含有固体物质的话,应该选择螺旋管圆筒炉。宁夏多温区管式炉研究所**
如何选择有质量保障的真空管式炉:售后服务质量。深圳箱式炉厂家
立式真空管式炉的可编程控温表操作:(1)多种工作方式。智能温度控制器具有准备(READY)、运行(RUN)、保持(HOLD)、测试(TEST)、结束(END)、PV启动、自动(AUTO)、手动(MANUAL)等多种工作方式,以满足温度过程控制的需要。(2)多种报警设置。智能温度控制韶支持多种报警形式,如温度上、下限报警,温度偏差报警,温度值报警等,报警是否生效,在什么条件下报警都可以通过参数设置完成。(3)强大的程序功能。支持工艺曲线数量,每条工艺曲线的段数,参数的设置范围,曲线的链接和循环,各种事件的数量等内容反映了控制器的程序处理能力。例如DCP31智能温度控制器,工艺曲线数量19条,每条工艺曲线30段,时间设置范围从0到99小时59分,曲线的链接0~19,程序循环次数0~9999,真空箱式炉还有8种操作和时间事件在编程时可供选择。深圳箱式炉厂家