pecvd管式炉烟囱和烟道：其作用是将炉膛的烟气排入大气中，cvd管式炉，内部均用耐火和保温材料衬里。为调节烟气排除速度，还装有可活动挡板。烟气流动为上抽式的加热炉烟囱安装在对流室上部；烟气流动为下行式的加热炉，烟囱安装在炉侧，并设有烟道。吹灰器：其主要作用是防止积灰，管式炉膛，尽量保持炉管表面始终干净，pecvd管式炉，用以强化对流管的对流传热，管式炉，提高炉的热效率。炼厂应用的吹灰器有自动伸缩式和固定旋转式两种。使用真空管式炉的操作：调整到机械零点。韶关真空管式炉实验室**
PECVD管式炉的主要特点：1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。北京CVD管式炉高校实验室**箱式炉为保证炉温，不得随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。
立式炉保养编辑在锅炉长期停用时，应十分注意炉体外部的防腐保养问题。首先在锅炉停炉冷却后，必须彻底清理受热面的积灰和炉排上部、炉体下部的灰渣。然后要保持烟道有一定的自然通风。一般情况下，为了防潮应在炉膛、烟道中放置干燥剂。如以生石灰作为干燥剂，则每立方米炉膛或烟道内一般应放置3kg左右。放置后应严密关闭所有的通风门。生石灰变粉后要更换。如锅炉房位置低洼，停炉期间地面泛潮严重时，则应采用经常小火烘烤和放置干燥剂相结合的办法。如果锅炉停炉时间很长，在彻底清理烟灰后在炉体金属外表面涂以红丹油或其它防腐漆。至于炉体内部停炉的防腐保养方法，则要按停炉时间的长短来定。一般情况下，停炉不超过一个月的可用湿法保养，一个月以上的应采取干法保养。
CVD管式炉1.按温度高低的来分可分为：RGF1800型，RGF1700型，RGF1600型，RGF1500型，RGF1400型，RGF1300型，RGF1200型，RGF1100型，RGF1000型，RGF900型，RGF800型等。2.按炉型大小来分可分为：RGF大型管式气氛炉，RGF中型管式气氛炉，RGF小型管式气氛炉，RGF微型管式气氛炉等。3.按控温精度来分可分为：RGF精细智能一体式管式气氛炉，RGF精细式管式气氛炉，RGF标准式管式气氛炉等。4.按管式气氛炉材质分为：RGF氧化铝管式气氛炉，RGF刚玉管式气氛炉，RGF石英管式气氛炉，RGF氮化硅管式气氛炉，RGF氮化硼管式气氛炉等。 管式炉具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小的特点。
管式炉的工作原理是：燃料在管式炉的辐射室(极少数在单独的燃烧室)内燃烧，释放出的热量主要通过辐射传热和对流传热传递给炉管，再经过传导传热和对流传热传递给被加热介质，这就是管式炉的工作原理。管式炉炉管内外受哪些腐蚀影响？1）炉管内介质的腐蚀：硫腐蚀、环烷酸腐蚀、氢损伤、氢加硫化氢腐蚀、连多硫酸腐蚀等；2）炉管管外介质腐蚀：高温部位的钒腐蚀和低温部位的露的点腐蚀。管式炉使用须知：烘炉注意事项：a：烘炉通蒸汽时必须先脱水，缓慢进行，防止水击。b：炉膛分别升至150℃、320℃时恒温，目的是脱除吸附水和结晶水。c：烘炉过程中要加强检查，升温要匀速缓慢，严格按烘炉升温曲线进行，发现异常现象立即请示处理。烘炉后的检查：a：检查各部砌砖有无裂缝，耐火衬里有无脱落，钢架、吊挂有无弯曲变形，炉管有无变形，基础有无下沉等。b：如果耐火衬里表面脱落深度超过15mm，或脱落深度达到耐火层厚度的五分之一时，需要进行凿洞修补。c：如果耐火衬里出现大于3mm的皲裂，如何处理由设计单位研究决定。d：炉膛在烘炉前放的砖样进行取样分析水份，低于7％为合格，等待正常开工。提前预热真空管式炉是非常有必要的，不然真空管式炉的炉膛容易破损。江门CVD管式炉生产厂家
箱式炉为保证炉温，不能随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。韶关真空管式炉实验室**
管式炉采用高温石英材料为炉管，低蓄热高辐射轻质纤维材料制作发热炉胆，节能，高温发热丝为发热元件，可在15分钟时间升温到1000度。控制系统为先进的LTDE可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成，通上电源即可使用，控制系统采用升温速度可设定的LTDE可编程仪表，管式炉系统同步协调控制，使任何试验或实验的一致性和再现性成为可能。具有自动恒温及时间控制功能，并附设有二级超温自动保护功能，控制可靠，使用安全。密封系统带有双头进气阀，单头出气阀，真空表，不锈钢密封头，和耐高温密封胶，密封性能好，如需要还可另配流量计，和水冷却装置。该炉美观大方，性能优越，是各高等院校科研单位首先的真空管式炉。韶关真空管式炉实验室**
