干式罗茨真空泵

碳化硅外延工艺需在超洁净低压环境中进行，罗茨真空泵的无油污染与精细控压特性使其成为**设备。在外延炉预处理阶段，其与分子泵串联使用，可将炉内真空度提升至 10⁻⁴Pa，抽除衬底表面吸附的氧、氮杂质，保障外延层质量。外延生长阶段，罗茨真空泵能精确控制反应室压力在 1-10Pa，配合气体流量控制系统，实时抽除未反应的硅烷、氢气等原料气体，避免多余气体沉积影响外延层厚度均匀性。对于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可实现反应气体快速置换，缩短工艺周期；其 IoT 传感器还能实时监测抽气速率与压力变化，实现预测性维护，减少设备停机时间。罗茨真空泵在食品行业应用，保障真空包装质量。干式罗茨真空泵

在半导体薄膜沉积工艺中，罗茨真空泵是真空系统的**组成部分。其需与干式前级泵组合使用，在工艺开始前快速将腔室压力从大气压降至 10⁻³ mbar 以下，为薄膜生长创造洁净真空环境。在 Low-E 玻璃镀膜生产中，它能确保镀膜过程中气体组分稳定，减少膜层缺陷，提升产品透光率与隔热性能。由于半导体制造对真空度稳定性要求极高，用于该领域的罗茨泵通常配备高精度压力传感器与闭环控制系统。半导体单晶硅长晶过程中，罗茨真空泵需提供大容量抽速，快速排出石英坩埚内的惰性气体与挥发物，维持炉内稳定的低压环境。单晶硅生长对真空系统的连续性要求严苛，泵体需具备 24 小时连续运行能力，且故障停机时间需控制在分钟级。为此，这类应用中的罗茨泵通常采用冗余设计，并集成远程监控功能，可提前预警轴承磨损、密封老化等潜在故障。浙江干式螺杆罗茨真空泵生产厂家罗茨真空泵的转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。

某电力设备厂为优化变压器真空干燥工艺，采用罗茨泵与前级泵组合系统。原设备抽速不足导致干燥时间过长，新系统抽速达 1200m³/h，能快速将干燥罐内压力降至 1Pa 以下。通过定期维护润滑油与检查密封件，设备连续运行 12 个月无故障，变压器绝缘电阻值提升 20%，干燥周期从 48 小时缩短至 24 小时。某食品冻干企业为扩大生产规模，引入多台罗茨真空泵用于冻干生产线。设备针对食品加工需求，配备进气过滤与干燥装置，防止杂质与水分进入泵腔。在果蔬冻干工艺中，可维持系统 0.05Pa 的稳定真空，配合制冷设备实现水分快速升华，产品复水性提升 10%，生产线产能从每日 5 吨提升至 8 吨，且产品保质期延长 6 个月。某航空航天研究院在空间模拟舱建设中，采用多级罗茨真空泵串联系统。该系统需模拟太空中的高真空环境，通过 3 台罗茨泵与分子泵组合，将舱内压力降至 1Pa 以下。设备配备智能监控系统，可实时监测真空度与温度参数，在航天器材料老化测试中，连续运行 30 天真空度波动小于 0.5Pa，为实验提供了可靠的环境保障。

电力设备制造领域，罗茨真空泵主要用于电力变压器、电容器和互感器的真空干燥与浸渍处理。这些设备的绝缘性能直接影响运行安全，真空干燥可彻底去除绝缘材料中的水分，浸渍处理则能增强绝缘强度，罗茨泵的高抽速可确保在规定时间内达到工艺所需的低压力环境，保障处理效果。在食品加工行业，罗茨泵常用于真空包装和冻干工艺。真空包装中，它能快速抽除包装内空气，延缓食品氧化变质，延长保质期；冻干工艺中，需在低温真空环境下升华水分，罗茨泵可配合制冷设备，维持系统稳定的低真空状态，保证食品形态和营养成分不被破坏，适用于果蔬、肉类等产品加工。航空航天领域的空间模拟装置离不开罗茨真空泵的支撑。空间模拟舱需模拟太空中的高真空环境，罗茨泵与高真空泵串联使用，可快速建立并维持舱内的极限真空状态，用于航天器材料性能测试、部件寿命评估等实验，其稳定的运行性能能确保模拟环境的真实性和可靠性。罗茨泵机组极限压力由前级泵极限压力与其对应压缩比比值求得。

为满足半导体、电子工业等对无油清洁真空的需求，干式罗茨真空泵发展迅速，其中多级罗茨真空泵为主流，美日等国已开发系列产品应用于相关工业。“多级” 指在转子轴上串联多级罗茨型转子，各级由中间壁隔离形成**泵腔，通过气流通道连接，各级转子直径和形状相同，宽度向高压侧可能变窄，常采用气冷式三叶转子增加压缩比。被抽气体从***级进气口进入，经逐级压缩后从***一级排气口排出，理论抽速取决于***级，却能实现高压缩比，可直排大气无需前级泵，避免油气污染。3-6 级罗茨泵可从大气压抽到极限压力 1Pa，高压力差可能导致转子过热，需在高压段气冷控制温度，冷却气体返流会损失抽速。为防止润滑油返流，泵腔与齿轮箱需隔离或密封，齿轮箱也可另设真空泵排气，多级罗茨泵在无油清洁真空领域具有重要地位和广阔应用前景。罗茨泵转子几何对称性好，运转振动小、噪音低，摩擦损失小，驱动功率低，可实现高转速运行。浙江干式螺杆罗茨真空泵生产厂家

罗茨泵腔内无需用油密封润滑，减少油蒸气对真空系统的污染，适配食品、医药等对洁净度要求高的行业。干式罗茨真空泵

真空凝壳炉浇铸需在精细控压与快速抽气中实现，罗茨真空泵的动态响应能力提供了关键支撑。在 TA10 钛合金转熔浇铸中，其可将炉内真空度稳定在 0.03Pa，抽除浇铸过程中型腔内释放的气体，配合可调节浇铸角度（±5°）的机构，实现液态金属平稳充型，减少铸件缺陷。对于大吨位铸锭浇铸，罗茨真空泵的抽速可根据浇铸速度（0.1-1.5kg/s）动态调节，在维持真空的同时避免熔体飞溅；其泄漏率≤5Pa・m³/s 的密封性能，保障浇铸全程无空气渗入，使铸锭末端氧含量波动控制在 0.03% 以内。浇铸结束后，该设备还能配合惰性气体充入系统，实现铸锭快速冷却，缩短凝壳重复利用的处理周期。干式罗茨真空泵

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