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五、结论根据上述硬件电路和软件设计，经实验测试，系统的测精度可优于±5μm，目前，我们研制的利用光栅传感器进行长度、角度自动测量的智能仪表已形成系列产品，分辨率可从20μm到1μm，具有性能稳定、抗干扰能力强、体积小、结构紧凑、成本低等优点，已成功地应用于机库改造和相关的光电尺寸与位置检测系统中。一、位移传感器基本原理光栅位移传感器的工作原理，是由一对光栅副中的主光栅（即标尺光栅）和副光栅（即指示光栅）进行相对位移时，在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间（或明暗相间）的规则条纹图形，称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白（或明暗）相同的条纹转换成正弦波变化的电信号，再经过放大器放大，整形电路整形后，得到两路相差为90°的正弦波或方波，送入光栅数显表计数显示。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。姑苏区附近光栅尺选择

由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件称为光栅（grating）。一般常用的光栅是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕为不透光部分，两刻痕之间的光滑部分可以透光，相当于一狭缝。精制的光栅，在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅，还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅，如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕，两刻痕间的光滑金属面可以反射光，这种光栅称为反射光栅。光栅是结合数码科技与传统印刷的技术，能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的立体世界，电影般的流畅动画片段，匪夷所思的幻变效果。光栅是一张由条状透镜组成的薄片，当我们从镜头的一边看过去，将看到在薄片另一面上的一条很细的线条上的图像，而这条线的位置则由观察角度来决定。如果我们将这数幅在不同线条上的图像，对应于每个透镜的宽度，分别按顺序分行排列印刷在光栅薄片的背面上，当我们从不同角度通过透镜观察，将看到不同的图像。江苏新款光栅尺量大从优光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]。

光栅光谱的排列比较均匀，不同波长区中同样波长差的两根谱线之间的距离变化不太大。光栅光谱的匀排性不但使光谱更加整齐、匀称，而且对定性分析时初步判断、估计谱线的波长值等比较方便。此外，在谱线的波长分布顺序方面，光栅与棱镜也是不同的；在光栅光谱中，波长越长的光线衍射角数值越大，谱线越偏离光栅法线。在棱镜光谱中，波长越长的光线，偏向角越小，相应的谱线分布越接近入射角方向的位置。 [2]级次重叠由光栅方程可知，波长为λ的一级（m=1）光谱线，波长λ/2的二级（m=2）光谱线、波长为λ/3的三级（m=3）光谱线……都具有同样的衍射角。即βλ，1=βλ/2，2=βλ/3，3=βλ/4，……m-1=βλ/m，这就是衍射光栅光谱的级次重叠。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。

光栅尺主要由标尺光栅（尺体）和读数头两部分组成。标尺光栅上刻有大量等间距的条纹，这些条纹在光源的照射下，与读数头中的指示光栅形成莫尔条纹。读数头则负责解析这些光学信号，从而精确地测量出位置的变化。二、工作原理光栅尺的工作原理基于莫尔条纹的形成和分析技术。当标尺光栅上的线纹和读数头中的指示光栅线纹之间形成一个小角度，并且两者相对平行放置时，在光源的照射下，会形成明暗相间的莫尔条纹。这些条纹的排列方向与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。随着标尺光栅的移动，莫尔条纹也随之移动，从而实现了对位移的测量。不能安装卡子时，用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。高新区购买光栅尺单价

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（基座长出光栅尺50mm左右）。姑苏区附近光栅尺选择

即衍射光栅在同一位置有不同级次的不同波长的光谱线。在宽波段范围内进行高分辨率光谱研究或光谱分析工作时，光栅光谱的级次重叠是非常明显的，必须采取有力的措施，把不需要的波段隔离掉或滤掉；例如，采用前置单色器、采用相应波段的滤光片等。才能避免不需要级次光谱的干扰，才能保证紫外可见分光光度计的分辨率和分析测试数据的准确性和可靠性。多级次性经棱镜色散后形成的光谱，只是按波长次序排列成一个单一的光谱。而经衍射角光栅色散后形成的光谱，则是包含m=0，±1，±2，±3……所有级次光谱的总和。同一块光栅对同一束入射复合光可在不同位置形成一系列不同级次的光谱；在m=0两侧有对称分布的正级次光谱和负级次光谱。因此，光栅光谱的多级次性是原理性的、是本质的，是不可避免的。光栅的这个特性，将对光栅的应用产生许多相应的问题，它会直接对紫外可见分光光度计的光谱分辨率和光谱的检测造成困难，这是所有紫外可见分光光度计的设计者、制造者、使用者必须重视的问题。姑苏区附近光栅尺选择

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