工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍

基于菲索干涉仪的等厚干涉原理设计，通过对比被测平面与标准参照镜的干涉条纹变化，实现光学元件表面形状误差和材料均匀性的非接触式测量 [1] [3-4]。标准参照镜面形精度通常达到p-v:λ/20 [3-4]。测量口径：Φ60mm（典型型号） [3-4]对准方式：两点对准系统 [3-4]结构特性：小型化设计、防尘性能优异 [3-4]精度范围：根据型号不同覆盖1/10-1/100波长梯度 [11.光学制造：检测平面镜、棱镜等光学元件表面面型2.质量检测：评估光学材料均匀性与透镜波前像差 [1]3.科研实验：实验室环境下进行精密光学计量分析工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。

双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。双频激光干涉仪的工作原理基于光的干涉现象，即当两束相干光相遇时，会产生干涉条纹，条纹的变化可以用来精确测量物体的位移或其他物理量。主要特点和应用：高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测。抗干扰能力强：由于使用了两种不同频率的激光，干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。

迈克尔逊干涉仪，是1881年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。利用该仪器的原理，研制出多种**干涉仪。 [1]双频激光干涉仪是一种高精度、高灵敏度的测量工具，适用于各种科学研究和工业应用。

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍

通过分析干涉条纹的变化，可以得到被测物体的位移信息。工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍

（5）数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。5D/6D标准型：1. 线性：0.5ppm .2. 测量范围：40米（1D可选80米）3. 线性分辨力：0.001um.4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值5. 比较大范围：800角秒6. 滚动角精度：1.0角秒7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值8. 直线度比较大范围：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 温度精度：0.2摄氏度11.湿度精度：5%12.压力精度：1mmHg工业园区销售双频激光干涉仪产品介绍

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