激光干涉仪是一种高精度的测量工具,以下是对其的详细介绍:一、定义与原理激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。其工作原理基于干涉原理,即当两束波重叠并结合时,会产生新的波形模式。在激光干涉仪中,激光束被分为两路,一路经固定反射镜反射,另一路经可动反射镜反射,两束光重新汇合时产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化被转换为电信号,进而计算出位移量。光电探测器将光信号转为电信号,经电路处理提取差频变化量,然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。姑苏区耐用双频激光干涉仪性价比

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。高新区新款双频激光干涉仪哪家好它通过多次反射在两个平面镜之间形成干涉。

反射光和透射光分别垂直入射到全反射镜M1和M2,它们经反射后回到G1(左)的半透半反射膜处,再分别经过透射和反射后,来到观察区域E。G2(右)为补偿板,它与G1为相同材料,有相同的厚度,且平行安装,目的是要使参加干涉的两光束经过玻璃板的次数相等,两束光在到达观察区域E时没有因玻璃介质而引入额外的光程差。当M2和M1'严格平行时,表现为等倾干涉的圆环形条纹,移动M2时,会不断从干涉的圆环中心“吐出”或向中心“吞进”圆环。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时,中心就会“吐出”一个个条纹;反之则“吞进”。M2和M1'不严格平行时,则表现为等厚干涉条纹,移动M2时,条纹不断移过视场中某一标记位置,M2平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足:d=Nλ/2,λ为入射光波长。
机床与加工设备:应用于数控机床、磨床、镗床、加工中心等设备的定位系统校准及误差修正,以提升加工精度。集成电路制造:支持半导体光刻技术的工件台的精密定位。物理实验:测量位移、速度、加速度等动力学参数。在线监测控制:在大规模集成电路加工设备、精密机床中实现误差的在线测量,以提升生产稳定性。检测仪器校准:用于线性位移传感器、角度传感器、直线度检测仪等几何检测仪器的标定。双频激光干涉仪凭借其高精度、强环境适应力、高实时动态测速以及广泛的应用领域,在精密制造、科研创新以及标准化检测等方面发挥着关键作用。由于其高精度和高灵敏度,激光干涉仪在科学研究和工业应用中都具有重要的地位。

经M2反射的光三次穿过G2分光板,而经M1反射的光通过G2分光板只一次。G1补偿板的设置是为了消除这种不对称。在使用单色光源时,可以利用空气光程来补偿,不一定要补偿板;但在复色光源时,由于玻璃和空气的色散不同,补偿板则是不可或缺的。如果要观察白光的干涉条纹,臂基本上完全对称,也就是两相干光的光程差要非常小,这时候可以看到彩色条纹;假若M1或M2有略微的倾斜,就可以得到等厚的交线处(d=0)的干涉条纹为中心对称的彩色直条纹,**条纹由于半波损失为暗条纹。迈克尔逊和爱德华·威廉姆斯·莫雷使用这种干涉仪于1887年进行了***的迈克耳逊-莫雷实验,并证实了以太的不存在。实时测量:可以实现实时监测和数据采集,适合动态测量。工业园区定制双频激光干涉仪性价比
干涉仪广泛应用于物理学、工程学、光学等领域。姑苏区耐用双频激光干涉仪性价比
激光平面干涉仪是基于菲索干涉原理设计的光学精密计量仪器,主要用于检测光学元件表面面形精度和光学材料的均匀性 [1] [3-4]。该设备测量精度可达到1/10-1/100波长量级,采用半导体激光器(635nm)作为光源,具有防尘效果好、结构紧凑等特点,适用于光学车间、实验室等场景的批量检测 [3-4]。上海乾曜光学科技有限公司与北京海富达科技有限公司均具备相关生产能力,其中G150M、G200M及60-LP等型号产品采用标准化测量口径设计,可满足不同使用场景需求 [2-4]。截至2025年,相关企业产品已服务国内外科研院所及工业企业 [2]。姑苏区耐用双频激光干涉仪性价比
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