常熟通用双频激光干涉仪产品介绍

这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-（f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。常熟通用双频激光干涉仪产品介绍

激光干涉测量仪通过双频激光技术实现高精度线性位移测量，适用于车间生产环境下的数控机床校准、三坐标机校准及光学平台校准。其测量镜组可扩展功能，支持直线度、垂直度等几何量检测 [2]。该仪器的系统包括 [2]：1.双频激光头及附件2.环境补偿单元3.测量软件、分析软件4.各类测量镜组激光干涉测量仪的优势包括紧凑设计、自动环境补偿及符合测校国家标准的测量分析软件。截至2023年8月，典型型号LH3000的测量速度可达2米/秒，频差为7±0.5MHz [2]。姑苏区安装双频激光干涉仪量大从优激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。

（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较好精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。它通过将激光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样，从而可以精确测量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉仪的基本原理可以概括为以下几个步骤：激光发射：激光器发出单色光束。光束分割：通过分束器将激光束分成两部分，通常称为参考光束和测量光束。光程传播：参考光束和测量光束分别经过不同的路径，可能会经过被测物体或介质。光束合并：两束光在分束器后重新合并，形成干涉图样。双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。高新区通用双频激光干涉仪维保

用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以扩展；常熟通用双频激光干涉仪产品介绍

截止***，激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。 目前LIGO激光干涉仪实验宣称***直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以认为是两路光线的干涉仪， 而另外一类引力波探测实验， 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光谱仪。法布里-珀**涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大，因而有极高的光谱分辨率，常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太。常熟通用双频激光干涉仪产品介绍

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