威力真空泵维保

微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。真空泵通过使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减少了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。威力真空泵维保

如何正确选择一款微型蠕动泵？确认所输送的流量的大小。通常流量选型参考单位：毫升/每分钟ML/Min;CC/Min。确认流体性质，流体酸碱性,有无腐蚀性、是否为有机溶剂等。确认所输送的流体粘度，流体粘稠度，流动性。确认所输送的流体中是否有颗粒物，颗粒物的大小。2、确认所输送的流体温度。高温或者超高温，会影响的蠕动泵和软管泵所配蠕动泵软管的寿命。确认所输送距离，扬程、吸程等。确认所使用蠕动泵的使用模式，只是简单的流体输送、还是需要定时定量输送、或配套设备使用、是否需要特殊接口等。自动化真空泵量大从优微型真空泵VAK系列是PK系列的升级产品，进行了一些升级，外观更精致，光滑 尺寸更精确；寿命更长，品质高。

提高蠕动泵工作效率的小技巧：降低转速提高蠕动泵管口径蠕动泵的流量大小是通过蠕动泵头的转动产生的。因此，蠕动泵选型时，在满足流量的前提下，降低蠕动泵转速，提高蠕动泵软管的口径以缩短软管使用时间。可以延长蠕动泵管的使用寿命。3、选择合适的蠕动泵软管蠕动泵在使用时会通过蠕动泵头反复挤压蠕动泵软管，因此建议在蠕动泵头出使用正常的蠕动泵管，蠕动泵管具有超好的抗压和回弹行、壁厚精度高，形状标准、材料纯度高等特点。为节约成本除蠕动泵头连接处以外区域可使用与所传输流体相应的普通软管。普通软管可以用软管接头连接。

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。尽量在无灰尘及脏物的清洁场所使用无油真空泵，如果确实无法保证，请在进气口使用合适的过滤装置。

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。蠕动泵具有无污染、精度高、可迅速更换泵管、流体可逆行、可以干运转、维修费用低等特点。销售真空泵常见问题

定制型(OEM)蠕动泵：体积小，适合精度不高的各种环境下的小流量液体输送。威力真空泵维保

微型真空泵简介微型真空泵是一种小型、高性能、低噪声的真空泵，通常用于实验室、医疗、电子、半导体等领域，以满足小型、高功率的真空要求。微型真空泵通常由电机、泵头、过滤器、控制器等部件组成。二、常见参数解释1. 流量流量是指单位时间内液体、气体或蒸汽等在管道中通过的量。在微型真空泵中，通常使用L/min（升/分钟）或ml/min（毫升/分钟）作为流量单位。流量的大小决定了真空泵吸取空气的速度和能力。通常，流量越大，真空泵的吸气能力越强。2. 压力压力是指单位面积上的力大小，在微型真空泵中，通常使用KPa或mbar作为压力单位。压力与真空泵在固定时间内排出的气体量成反比。也就是说，压力越大，真空泵排出气体的速度越流畅。.功率功率是指单位时间内所完成的功的多少。在微型真空泵中，通常使用W为单位。功率越大，真空泵的排气速度越快。4. 大的真空度大的真空度是指真空度的高的限制值。真空度是单位面积上的压强，通常使用Pa或mbar作为单位。大的真空度将决定真空泵的使用范围。如果需要更高的真空度，需要采用更高级别的真空泵。5. 噪音噪音是指由微型真空泵发出的声音大小。因此，需要选择低噪音的微型真空泵。威力真空泵维保