移相器性能评估与应用

纳米定位平台的设计从上面的简要介绍中可以清楚地看出，为什么只考虑每个轴的共振频率无法提供纳米定位系统性能的准确图片。也正因如此，多数情况下，只有定制系统才能满足各个应用程序的特定要求。例如，必须选择与应用相匹配的共振频率特性的结构材料和平台设计。此计算中的一个关键因素是施加的载荷。这就是为什么我们经常在许多数据表中关注负载性能，因为这个标准能更好地反映平台的实际用途。一般来说，作用在平台上的负载越大，平台的共振频率就越低。我们的高刚度平台意味着共振频率受负载变化的影响较小，因此任何动态调谐对负载的变化都不太敏感。 在极端环境下研究纳米尺度下的物理学与材料学已成为学术研究的热点。移相器性能评估与应用

北京微纳光科仪器(集团)有限公司主要提供《微》《纳》《光》《科》四个版块产品，【实验室一体化解决方案】的三个版块《实验室装修/净化/设计》《实验室家具》《实验室仪器设备》,《无人工厂一体化解决方案》以及《特殊工况下自动化设备和仪器解决方案》的服务。主要产品系列有：电控位移台，手动位移台，直驱滑台转台，直线电机，相位台，工业机械手，KK模组，真空无磁低温；压电纳米促动器，压电纳米移动台；光学冷加工，光学元器件，光学镀膜，光学调整架，光纤调整耦合，晶元检测，晶元曝光刻蚀半导体设备，影像测量，机器视觉，图形图像处理，光学分析仪器，光学检测/测试仪器；科学实验室的设计装修，科学实验室家具（光学平台，大理石平台，实验操作台）自主研发的科学实验室仪器以及代理仪器，科学实验室的一体化解决方案。 电容式位置传感器精度控制技术纳米定位平台有哪几方面创新？

纳米技术是21世纪重要的科学技术之一，它将引起一场新的工业发展浪潮。纳米技术是包括纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量、纳米物理纳米化学等诸多科学技术在内的一组技术的汇聚，其目的是研究、发展和加工结构尺寸小于100nm的材料、装置和系统，以获得具有所需功能和性能的产品。科技发达国家为抢占这一高新技术生长点、制高点，竞相将纳米技术列为21世纪战略性基础研究的优先项目。纳米测量技术是纳米技术的重要组成部分，对于纳米材料的发展。纳米器件和系统的研究与开发具有十分重要的意义。纳米测量技术的内涵涉及纳米尺度的评价、成份、微细结构和物性的纳米尺度的测量，它是在纳米尺度上研究材料和件的结构与性能、发现新现象、发展新方法、创造新技术的基础。纳米技术主要研究微观尺度的物体和现象，同时微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。与广义的测量技术相比，纳采测量技术具有被测量的尺度小以及以非接触测量手段为主等主要特点。

近年来，由于光通信技术飞速发展，光纤连接器作为光通信基本的光源器件，所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率，因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数，通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中米罗的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。 测试校准系统是将纳米位移系统内部的“标尺”与米定义联系起来，实现量值的溯源。

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六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。移相器性能评估与应用

压电位移台在光纤端面检测方面的应用：近年来，由于光通信技术飞速发展，光纤连接器作为光通信基本的光源器件，所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率，因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数，通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。 移相器性能评估与应用