压电纳米平移台控制系统

在数据存储的领域，通常需要压电纳米定位台来实现纳米甚至亚纳米级别的运动控制精度。压电纳米定位台在数据存储中的应用：压电纳米定位台用于读写头的高精度调节压电纳米定位台可以在光盘数据存储中应用于高密度数据存储和读取。压电纳米定位台是一种纳米级别的机械调节系统，它由压电陶瓷和纳米机械部件组成，可以实现纳米级别的位置调节。在光盘数据存储中，压电纳米定位台可以用来调节光学读写头的位置，提高数据存储和读取的精度和容量。 纳米定位平台系统，高精度定位平台。压电纳米平移台控制系统

压电纳米位移平台同压电微扫平台一样，采用压电陶瓷叠堆直推技术，压电陶瓷叠堆执行器虽然可以有体积紧凑、重量轻集成度高的特点，但是输出位移小。采用位移放大机构实现压电陶瓷叠堆执行器输出位移的放大。压电纳米定位台的工作原理纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。 纳米促动器可根据需求提供或定制微米领域的电动手动移动台。

近年来，由于光通信技术飞速发展，光纤连接器作为光通信基本的光源器件，所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率，因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数，通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中米罗的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。

过去十年，中国工业企业和科研机构正在加快对于设备和仪器的升级，从中国制造迈向中国创造，因此对于纳米级别运动控制的需求出现了爆发。

精密仪器设计中相关的材料的选择与传统机械设计一般考虑相关，但主要关注点可能不同：例如强度和质量可能不太重要，但保持形状和尺寸稳定性的能力，通常是要求很高的。由于材料的使用量小，因此材料成本可能不会对总成本产生重大影响，因此，性能被更优先考虑，并且使用各种新材料是可行的。结构材料的热性能一直是精密仪器设计和使用的主要关注点。在正常使用中，所有机械设备都会遇到环境温度变化、执行器功耗、操作员操作等引起的热量输入。热扰动的直接影响是热膨胀，它会引起机械部件的尺寸变化，从而导致仪器精度的损失。 根据压电纳米定位台是否带有中心通孔，可分为中空式压电纳米定位台与非中空式压电纳米定位台。

纳米定位平台的设计从上面的简要介绍中可以清楚地看出，为什么只考虑每个轴的共振频率无法提供纳米定位系统性能的准确图片。也正因如此，多数情况下，只有定制系统才能满足各个应用程序的特定要求。例如，必须选择与应用相匹配的共振频率特性的结构材料和平台设计。此计算中的一个关键因素是施加的载荷。这就是为什么我们经常在许多数据表中关注负载性能，因为这个标准能更好地反映平台的实际用途。一般来说，作用在平台上的负载越大，平台的共振频率就越低。我们的高刚度平台意味着共振频率受负载变化的影响较小，因此任何动态调谐对负载的变化都不太敏感。 低温真空无磁型压电纳米定位台非常适用于半导体加工、检测等应用。压电陶瓷微位移驱动技术

压电纳米定位台凭借高稳定性、高分辨率等优良特性。压电纳米平移台控制系统

带宽：平台运动的振幅下降3dB的频率范围。它反映了平台可以跟随驱动信号的速度。漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境的影响。漂移可能来自于机械系统和电子设备。摩擦。摩擦被定义为运动过程中接触面之间的阻力。因为他们使用弯曲，所以摩擦可能是恒定的或与速度有关。而Piezoconcept的纳米定位器是无摩擦的。滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。闭环控制是这个问题的理想解决方案，通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。正交性误差:两个定义的运动轴的角度偏移，使其相互之间成为正交。它可以被解释为串扰的一部分。阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的10%到指令值的90%所需的时间。阶跃响应时间反映了系统的动态特性。压电纳米平移台控制系统