硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源在TOPCon电池制造中的应用，提供了一种有效的方法来解决硼掺杂浓度问题，并简化了选择发射极的制备工艺流程。通过扩散炉将高硼表面浓度的P++层推进，我们可以精确控制硼掺杂的浓度和分布。由于没有进行氧化处理，P++层保持了高掺杂的特点，成为激光掺杂的理想源。利用硼硅玻璃作为掺杂源，结合扩散炉技术和激光掺杂工艺，我们能够在解决硼掺浓度问题的同时，简化了选择发射极的制备工艺流程。这种方法不仅提高了TOPCon电池的性能和稳定性，还降低了生产成本和能耗，为光伏行业的持续发展带来了新的可能性。TOPCon SE 设备在光伏制造中的广泛应用，预示着绿色能源的未来。上海激光掺杂光伏销售厂
运行模式：离线；适用硅片尺寸（mm）：182-230mm；适用硅片厚度：120-200μm；设备尺寸（mm）：⻓×宽×高：5989mm*2700mm*2500mm（不包含除尘机，冷水机）；⻓×宽×高：7745mm*2700mm*2500mm（包含除尘机，冷水机）；图形精度：±15um；对准精度：±15um；上下料方式：满足AGV对接上下料；花篮数量：5×2+1+1；设备产能：182尺寸≥9000片/小时（栅线数量≤148）；182尺寸≥8600片/小时（栅线数量≤160）；210尺寸≥7600片/小时（栅线数量≤168）；碎片率：≤0.03%。山东TOPCon晶硅光伏定制在实际生产中采用TOPCon激光直掺技术，能够快速响应市场变化，抓住发展机遇。
设备组成
设备主要由上下料机、激光主机（含激光器）、除尘机等组成激光主机的主要部件：
1)激光器系统；
2)CCD定位系统及软件；
3)光路系统；
4)激光离线检测系统；
5)人机界面操作系统及控制程序；
6)上下料系统；
7)高速振镜扫描系统；
8)工位承载输送系统；
9)激光标记图形编辑软件系统；
10)设备基座及配套结构；
整个主机负责花篮的输送、横移、升降，硅片的输送、缓存、上下料、CCD定位、激光标记等。
1)花篮升降横移模组升降模组：由带刹⻋装置的伺服电机配合螺纹丝杆，带动花篮上下运动，刹⻋装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组：由电机驱动同步带，带动花篮平稳横向移动，用于空花篮在上下料之间转存。
2)硅片输送模组硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。皮带输送模组由步进电机、聚氨酯定制皮带以及主从动轮组成，确保硅片在平皮带线上快速稳定运输。
3)对中校正机构由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动，用来导正硅片的位置，保证其位置精度。
4)硅片缓存机构由带锁紧装置的丝杠电机构成，可缓存25片硅片以上。
5)硅片抓取上下料模组
TOPCon激光SE设备的定位系统及其工作原理。
CCD相机：这是用于捕捉图像的关键组件。能够快速、准确地捕捉硅片的图像。
镜头：与相机配合使用，能够聚焦并清晰呈现硅片的图像。
光源：为相机提供适当的照明，使其能够捕捉到清晰的硅片图像。
光源控制器：用于控制光源的亮度和照射角度，确保获得清晰的图像效果。
吹扫功能：可以清扫硅片表面或激光台面上的尘埃或碎屑，确保定位和打标的准确性。
破片识别功能：能够识别并避免打标有缺陷或破损的硅片，确保打标的质量和准确性。
抓边定位：通过使用两台高精度像素相机对硅片的四边进行定位，够确保硅片的中心点位被准确识别。
像素点转换：相机捕捉到的像素点阵列会转换成激光振镜坐标系数据点，这一转换过程是实现高精度定位的关键。
中心点位计算：通过对硅片对角两点的中心点进行计算，能够得到硅片的中心点位。这是后续打标工作的基准点。
坐标系传递与激光打标：一旦确定了硅片的位置，视觉定位系统会将当前的坐标系信息传递给激光振镜。激光振镜根据这些坐标点进行打标，从而实现硅片的高精度对位打标。
该定位系统通过先进的视觉技术和算法，实现了硅片的高精度、快速定位和打标，为TOPCon激光SE设备提供了关键的技术支持。 设备可实现多线单独激光加工，单通道异常时，不影响其他升降皮带模组工位的运行。
不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。激光掺杂和氧化工艺：在形成P++层之后，TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子，使其能够有效地掺入硅基体中。同时，激光还可以选择性地对特定区域进行氧化，形成隧穿氧化层和多晶硅层，这是TOPCon太阳能电池的重要结构。解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺：通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。稳定可靠的 TOPCon SE 设备，确保生产连续无阻。江西激光掺杂光伏
通过TOPCon激光直掺技术，可以有效控制生产过程中的温度和湿度，进一步提升了电池性能。上海激光掺杂光伏销售厂
设备特点整机采用工业PC控制、模块化柔性化编程设计。采用同边进出花篮，空花篮内部自循环。设备实现单轨上/下料，操作方便。设备空间布局紧凑合理，占地面积小。满足AGV双通道同步上/下料，减少AGV对接需求及机台数量。设备可实现多线单独激光加工，单通道异常时，不影响其他升降皮带模组工位的运行。双通道上料，可以满足多激光的加工时间，合理地实现双线同时加工。设备具有破片自动识别和激光能量离线检测功能。整个加工过程中，硅片自动传输。上海激光掺杂光伏销售厂
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