激光M2：该参数表示激光的光束质量。M2值越接近1，光束质量越好，光束越窄。≤1.2的M2值表明该激光器具有较好的光束质量和聚焦性能。功率稳定性：≤2%的功率稳定性意味着激光器的输出功率非常稳定，波动很小。这有助于确保激光加工的一致性和可靠性。脉冲能量稳定性：≤2%RMS的脉冲能量稳定性表示每个脉冲的能量都是相对稳定的。这有助于确保加工过程中的能量一致性，从而获得更好的加工效果。光斑形状：方形光斑意味着激光能量在光斑内均匀分布，有助于提高加工质量和效率。线宽：70-100um的可定制线宽范围意味着可以根据不同的加工需求调整线宽大小，实现精细或大面积的加工。图形重复精度：≤±15um的图形重复精度意味着激光器能够高精度地重复加工相同的图形或模式，这对于高精度加工应用至关重要。扫描速度：50m/s的扫描速度非常快，能够大幅度提高加工效率。设备空间布局紧凑合理，占地面积小。湖南激光掺杂光伏定制
TOPCon激光直掺技术是利用激光直接在氧化硅层上形成钝化接触。相比传统的P-N结太阳能电池，TOPCon激光直掺技术具有更低的表面复合速率和更高的开路电压。通过优化激光参数和工艺条件，可以实现更高的钝化质量和更低的接触电阻，从而提高太阳能电池的光电转换效率。TOPCon激光直掺技术在太阳能电池领域具有广阔的应用前景。它可以应用于各种类型的太阳能电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅等。此外，TOPCon激光直掺技术还可以与其他先进的太阳能电池制造技术相结合，如钙钛矿太阳能电池和有机太阳能电池，进一步提高太阳能电池的效率和稳定性。随着技术的不断发展和成熟，TOPCon激光直掺技术有望成为未来太阳能电池制造的重要技术之一，推动太阳能产业的发展和应用。上海TOPCon SE光伏设备厂家TOPCon SE 技术的引入，大幅提高光伏电池的开路电压和短路电流。
TOPConSE设备采用硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源，通过一系列工艺步骤，实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层，并且优化了选择发射极的制备工艺。
硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源：硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料，它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性，从而提高电池的性能和稳定性。
通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层：在TOPConSE设备的工艺流程中，首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面，形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。
不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。
激光掺杂和氧化工艺：在形成P++层之后，TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子，使其能够有效地掺入硅基体中。同时，激光还可以选择性地对特定区域进行氧化，形成隧穿氧化层和多晶硅层，这是TOPCon太阳能电池的重要结构。
解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺：通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。
设备组成
设备主要由上下料机、激光主机（含激光器）、除尘机等组成激光主机的主要部件：
1)激光器系统；
2)CCD定位系统及软件；
3)光路系统；
4)激光离线检测系统；
5)人机界面操作系统及控制程序；
6)上下料系统；
7)高速振镜扫描系统；
8)工位承载输送系统；
9)激光标记图形编辑软件系统；
10)设备基座及配套结构；
整个主机负责花篮的输送、横移、升降，硅片的输送、缓存、上下料、CCD定位、激光标记等。
1)花篮升降横移模组升降模组：由带刹⻋装置的伺服电机配合螺纹丝杆，带动花篮上下运动，刹⻋装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组：由电机驱动同步带，带动花篮平稳横向移动，用于空花篮在上下料之间转存。
2)硅片输送模组硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。皮带输送模组由步进电机、聚氨酯定制皮带以及主从动轮组成，确保硅片在平皮带线上快速稳定运输。
3)对中校正机构由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动，用来导正硅片的位置，保证其位置精度。
4)硅片缓存机构由带锁紧装置的丝杠电机构成，可缓存25片硅片以上。
5)硅片抓取上下料模组 设备采用单侧上下料，对接一个自动上下料系统。
设备简介
TOPCon激光设备（型号：HL-KZPCNS-HO），该激光系统用于选择性激光加工工艺。设备使用双轨设置，每条单轨配置相应的激光器标记系统，具备较高的产能与生产灵活性。
此设备支持自动上下料系统，可满足客户现场AGV系统对接要求，花篮从AGV自动上料至激光设备的上料输送皮带，经自动取料机构从花篮取出硅片后，直接输送到后端的激光标记工位，然后通过CCD视觉定位后进行激光标记，标记完成后的硅片经由下料输送皮带输送到下料花篮，满料后再由输送皮带输送到现场对接的AGV。 满足 AGV 双通道同步上/下料，减少 AGV 对接需求及机台数量。福建激光直掺光伏销售厂家
TOPCon激光直掺技术在实际生产中表现出色，快速提升电池片的效率。湖南激光掺杂光伏定制
设备特点整机采用工业PC控制、模块化柔性化编程设计。采用同边进出花篮，空花篮内部自循环。设备实现单轨上/下料，操作方便。设备空间布局紧凑合理，占地面积小。满足AGV双通道同步上/下料，减少AGV对接需求及机台数量。设备可实现多线单独激光加工，单通道异常时，不影响其他升降皮带模组工位的运行。双通道上料，可以满足多激光的加工时间，合理地实现双线同时加工。设备具有破片自动识别和激光能量离线检测功能。整个加工过程中，硅片自动传输。湖南激光掺杂光伏定制
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