江西TOPCon SE光伏生产企业

设备简介

HL-KZPCNS-HO型TOPCon激光设备是一款专为选择性激光加工工艺设计的先进设备。其主要特点如下：

双轨设置：设备采用独特的双轨布局，每条轨道配备一套激光标记系统。这种设计不仅提高了产能，还增强了生产的灵活性，满足了各种不同的生产需求。

高产能与灵活性：通过双轨配置，设备能够在短时间内处理大量硅片，确保高效率的生产。同时，由于每个轨道都有单独的激光器标记系统，设备能够根据实际生产需求快速调整，实现个性化的生产方案。

自动上下料系统：设备配备了自动上下料系统，可以与客户的AGV系统无缝对接。花篮从AGV自动传输到激光设备的上料输送皮带，经过自动取料机构，硅片被取出并直接输送到激光标记工位。标记完成后，硅片再由下料输送皮带输送到下料花篮。这一系列动作都无需人工干预，大幅度提高了生产效率和自动化程度。

CCD视觉定位：在硅片进行激光标记之前，通过CCD视觉系统对其进行精确的定位。这确保了激光标记的准确性和一致性，提高了产品的质量。

与AGV对接：设备的设计充分考虑了与AGV系统的对接需求。花篮可以从AGV上自动传输到激光设备的上料区，标记完成后，满料的花篮再由输送皮带输送到对接的AGV上，整个过程流畅、高效。 通过TOPCon激光直掺技术，可以灵活调整生产参数，满足不同市场需求，增强企业竞争力。江西TOPCon SE光伏生产企业

备运行模式：离线模式通常意味着设备在非实时、非在线的情况下运行。这可能涉及到预先编程的任务、计划任务或批处理任务。在这种模式下，设备根据预设的程序或命令执行任务，通常不需要实时监控或交互。

适用硅片尺寸（mm）：182-230mm这表示设备适用于处理尺寸在182至230mm之间的硅片。

适用硅片厚度（μm）：120-200μm硅片的厚度应在120至200微米之间，

设备尺寸（mm）：⻓×宽×高：5989mm2700mm2500mm（不包含除尘机，冷水机）；宽×高：7745mm2700mm2500mm（包含除尘机，冷水机），有助于确定设备的物理占用空间和布局。

图形精度：±15μm这表示设备在加工过程中能够达到的图形精度为±15微米。高精度加工对于确保硅片的准确性和一致性至关重要。

对准精度：±15μm对准精度表示设备在加工过程中硅片的对准能力。±15微米的对准精度确保了硅片的准确放置和加工。

上下料方式：满足AGV对接上下料，提高了生产效率和自动化程度。

花篮数量：5×2+1+1。

设备产能：182尺寸≥9000片/小时（栅线数量≤148）；182尺寸≥8600片/小时（栅线数量≤160）；210尺寸≥7600片/小时（栅线数量≤168）。

碎片率：≤0.03%。 江西TOPCon SE光伏生产企业设备操作简单，维护方便，能够大幅度减少人工干预和操作难度，提高生产自动化水平。

TOPConSE设备采用硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源，通过一系列工艺步骤，实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层，并且优化了选择发射极的制备工艺。

硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源：硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料，它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性，从而提高电池的性能和稳定性。

通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层：在TOPConSE设备的工艺流程中，首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面，形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。

不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。

激光掺杂和氧化工艺：在形成P++层之后，TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子，使其能够有效地掺入硅基体中。同时，激光还可以选择性地对特定区域进行氧化，形成隧穿氧化层和多晶硅层，这是TOPCon太阳能电池的重要结构。

解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺：通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。

伺服电机驱动与抓取技术

伺服电机驱动：模组使用伺服电机驱动，能够快速、准确地来回移动，满足高产能需求。

伯努利吸盘：抓取吸盘采用伯努利吸盘，这种吸盘能有效降低碎片率和减少硅片污染。它与工件的接触小而轻柔，抓取动作更迅速。

系统特性与输送系统

花篮上下料：系统设计用于花篮的上下料，能满足AGV双通道同步上/下料的需求，减少对接需求和机台数量。

多线单独加工：多线之间可实现单独激光加工，某一通道出现异常时，不影响其他升降皮带模组工位的激光运行。

输送系统：由电机驱动同步带输送花篮，上下料区布局为5×2+1+1。

与AGV对接参数

双侧双轨对接：采用单侧双层双轨对接方式，可同时进料10个花篮和出料10个花篮。 凭借 TOPCon SE 设备，企业可降低生产成本，提高经济效益。

TOPConSE设备提高了生产效率和电池性能，为大规模制造提供有力支持。其采用硼硅玻璃作为掺杂源，通过一系列工艺步骤实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层。这一过程确保了硼掺杂的准确性和均匀性，进而提升了电池性能和稳定性。在形成P++层后，设备采用不进行常规氧化的策略，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一创新决策不仅简化了工艺流程，还显著提高了生产效率。通过使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化，TOPConSE设备实现了高效、精确的硼原子掺入硅基体中。同时，激光选择性地对特定区域进行氧化，形成关键的隧穿氧化层和多晶硅层。这一重要技术使TOPCon太阳能电池具备更高的光电转换效率和稳定性。总之，TOPConSE设备的创新工艺为高效、大规模生产TOPCon太阳能电池提供了有力支持，推动了光伏技术的进一步发展。TOPCon SE 设备：带领光伏技术新潮流，提升电池转换效率。江西激光直掺光伏海目星

设备空间布局紧凑合理，占地面积小。江西TOPCon SE光伏生产企业

硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源在TOPCon电池制造中的应用，提供了一种有效的方法来解决硼掺杂浓度问题，并简化了选择发射极的制备工艺流程。通过扩散炉将高硼表面浓度的P++层推进，我们可以精确控制硼掺杂的浓度和分布。由于没有进行氧化处理，P++层保持了高掺杂的特点，成为激光掺杂的理想源。利用硼硅玻璃作为掺杂源，结合扩散炉技术和激光掺杂工艺，我们能够在解决硼掺浓度问题的同时，简化了选择发射极的制备工艺流程。这种方法不仅提高了TOPCon电池的性能和稳定性，还降低了生产成本和能耗，为光伏行业的持续发展带来了新的可能性。江西TOPCon SE光伏生产企业