不进行氧化:在形成P++层之后,通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是,在TOPConSE设备中,选择不进行氧化操作,而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。激光掺杂和氧化工艺:在形成P++层之后,TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子,使其能够有效地掺入硅基体中。同时,激光还可以选择性地对特定区域进行氧化,形成隧穿氧化层和多晶硅层,这是TOPCon太阳能电池的重要结构。解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺:通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。TOPCon SE 设备,实现光伏产业绿色可持续发展。湖南激光掺杂光伏哪家好
TOPConSE设备采用硼硅玻璃(BSG)作为掺杂源,通过一系列工艺步骤,实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层,并且优化了选择发射极的制备工艺。
硼硅玻璃(BSG)作为掺杂源:硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料,它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性,从而提高电池的性能和稳定性。
通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层:在TOPConSE设备的工艺流程中,首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面,形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。
不进行氧化:在形成P++层之后,通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是,在TOPConSE设备中,选择不进行氧化操作,而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。
激光掺杂和氧化工艺:在形成P++层之后,TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子,使其能够有效地掺入硅基体中。同时,激光还可以选择性地对特定区域进行氧化,形成隧穿氧化层和多晶硅层,这是TOPCon太阳能电池的重要结构。
解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺:通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。 安徽TOPCon太阳能光伏定制设备实现单轨上/下料,操作方便。
花篮升降横移模组:升降模组:由带刹⻋装置的伺服电机配合螺纹丝杆,带动花篮上下运动,刹⻋装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组:由电机驱动同步带,带动花篮平稳横向移动,用于空花篮在上下料之间转存。硅片输送模组:硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。皮带输送模组由步进电机、聚氨酯定制皮带以及主从动轮组成,确保硅片在平皮带线上快速稳定运输。对中校正机构;由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动,用来导正硅片的位置,保证其位置精度。
设备特点
整机采用工业PC控制、模块化柔性化编程设计。
采用同边进出花篮,空花篮内部自循环。
设备实现单轨上/下料,操作方便。
设备空间布局紧凑合理,占地面积小。
满足AGV双通道同步上/下料,减少AGV对接需求及机台数量。
设备可实现多线单独激光加工,单通道异常时,不影响其他升降皮带模组工位的运行。
双通道上料,可以满足多激光的加工时间,合理地实现双线同时加工。
设备具有破片自动识别和激光能量离线检测功能。
整个加工过程中,硅片自动传输。 设备采用单侧上下料,对接一个自动上下料系统。
设备主要由上下料机、激光主机(含激光器)、除尘机等组成激光主机的主要部件:1)激光器系统;2)CCD定位系统及软件;3)光路系统;4)激光离线检测系统;5)人机界面操作系统及控制程序;6)上下料系统;7)高速振镜扫描系统;8)工位承载输送系统;9)激光标记图形编辑软件系统;10)设备基座及配套结构;设备加工流程:设备采用单侧上下料,对接一个自动上下料系统。激光器采用海目星自主研发,具有自主知识产权的激光器,激光:M2≤1.2;功率稳定性:≤2%;脉冲能量稳定性:≤2%RMS;光斑形状:方形;线宽:70-100um(可定制);图形重复精度:≤±15um;扫描速度:50m/s。TOPCon SE 设备,降低光伏成本,提升经济效益。广东激光掺杂光伏机
通过TOPCon激光直掺技术,可以灵活调整生产参数,满足不同市场需求,增强企业竞争力。湖南激光掺杂光伏哪家好
公司专注于激光光学及控制技术研发、先进激光创新应用(切割、焊接、表面处理等)、精密自动化智能制造,产品广泛应用于动力电池、消费电子,光伏太阳能、新型显示、钣金加工、智能家居、生命科学、现代建筑、交通运输等行业。公司总部位于深圳,并在深圳、江门、常州、成都设有四大生产制造基地,辐射华南、华东、西南地区,同时在韩国、美国、意大利建立海外子公司。目前,海目星全球员工8000+人。在工业4.0时代,海目星始终牢记“改变世界装备格局,推动人类智造进步”的使命,锁定前沿技术,助力产业变革,与全球客户携手共赴智造未来。湖南激光掺杂光伏哪家好
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