真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。选择的时候必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的比较好工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。真空泵在运转过程中,系统内水分及冷气体会排入泵油中会影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。单双级旋片式真空泵现货
在检查确定真空泵工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。它是决议产品的大小,抽气量请求愈高,产品体积相对愈大,所需配用的电机功率亦会愈高。它是决议产品采用何种构造,真空度是有表压及压力这两种读数。压力表示读数是值,即读数愈靠近‘0\',真空度愈高。但反观表压,愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高,假若你所请求的压力(极限真空)是靠近‘0\',那么只要真空泵才能够满足这个需求。实验室罗茨真空泵供应企业市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。
真空泵油的光滑性:摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用,也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源,减少磨损,以延长机械寿命。真空泵油的降温冷却性能降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功,耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量,其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关,粘度高的热量比较大,粘度低的热量比较小,而边境摩擦的热量则介于两者之间。由此可见,用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑,减少摩擦热的产生,而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。
各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以普遍应用。罗茨真空泵的启动压力为其比较大压差的1.5倍左右。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择的真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产,在化工制药等行业得到很好的应用。在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵,它是一种全新的设计,是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题,如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子,有内压缩过程,泵腔内无轴承和密封,极大降低了故障率,泵腔内没有内部阀门,因而耐粉尘和焦油能力强,此泵的螺杆采用内部中空冷却,可以降低转子温度和热变形,螺杆寿命长。真空泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;风冷式罗茨真空泵供应价格
真空泵的何氏系数:泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。单双级旋片式真空泵现货
分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。单双级旋片式真空泵现货
在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这是真空泵油的比较重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵不断向高速度发展,由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高,油品很容易氧化分解,尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作,使系统内蒸气压升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。信赖德迈克,选择稳定可靠的真空泵,为生产保驾护航。罗茨真空泵哪里买结构紧凑、工作平衡可靠和流量均匀,所以化工生产中多...