在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。苏州整体成型硅橡密封圈真空烘箱PID调节
电子元器件烘烤过程中静电防护:集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命危害。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。静电对电子元件的影响:1)静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。2)因电场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏)。3)因瞬间的电场或电流产生的热,元件受伤,仍能工作,寿命受损。外箱体表面采用先进的防静电烤漆,让电子元器件与热风空气摩擦产生的的静电随着外箱体导体泄放到大地。杭州双层钢化玻璃观察窗真空烘箱调试调整钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体,一目了然。
与普通干燥箱相比,真空烘箱突出的优势为它的加热方式。真空烘箱是四面安装有紧贴真空室外箱壁金属板的功率相同的电热丝,所以在电热丝在进行加热时,热量通过真空室的不锈钢金属壁辐射到工作室内,保证了工作室内的温度辐射热量相同,从而使得烘干中的物料保持均匀性。随着时间的推移和设备的使用,真空烘箱在工作中也暴露了许多缺陷。真空烘箱的维修很麻烦,对于电热丝烧断的维修,只能先把真空烘箱的大门拆掉,然后取下硅胶密封条并拆掉真空室的固定螺丝,再拆掉真空烘箱后面的盖板,取出所有的保温岩棉,拆卸出真空室。这样繁琐的步骤结束后才能更换新的电热丝并重新安装真空烘箱设备。此外,真空烘箱的温度上升慢、下降慢问题,给干燥工作带来一定的局限性,且真空实验结束后,还容易使得实验人员被真空室的四周金属壁烫伤,因此真空烘箱的安全性和人性化设计需要进一步改进。
低温对产品的影响1、橡胶等柔韧性材料的弹性降低,并产⽣破裂;2、⾦属和塑料脆性增⼤,导致破裂或产⽣裂纹;3、由于材料的收缩系数不同,在温变率较⼤时,会引起活动部件卡死或转动不灵;4、润滑剂粘性增⼤或凝固,活动部件之间摩擦⼒增⼤,引起动作滞缓,甚⾄停⽌⼯作;5、元器件电参数发⽣变化,影响产品的电性能;6、结冰或结霜引起产品结构破坏或受潮等。⼆、低温环境效应1、使材料硬化及脆化。2、不同材料的不同收缩特性⽽使零件卡死。3、由于润滑剂增加黏性⽽失去润滑作⽤。4、电性改变(如电阻,电容等)。5、变压器和机电组件功能改变。6、冲击基座变硬。7、物破裂,如铵硝酸。8、使试件产⽣裂痕、脆化并改变耐冲击强度及减低强度。9、玻璃产⽣静⼒疲劳。10、使⽔凝结和冰冻。11、减低⼈的灵巧性及使听⼒和视⼒退化。12、改变燃烧速率。关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合;
橡胶的种类随着室温硫化胶料的增加和高温硫化的出现,硫化温度趋向两个极端。从提高硫化效率来说,应当认为硫化温度越高越好,但实际上不能无限提高硫化温度。橡胶为高分子聚合物,高温会使橡胶分子链产生裂解反应,导致交联键断裂,即出现“硫化返原”现象,从而使硫化胶的物理机械性能下降。综合考虑各橡胶的耐热性和“硫化返原”现象,各种橡胶建议的硫化温度如下:NR比较好在140-150℃,比较高不超过160℃;顺丁橡胶、异戊橡胶和氯丁橡胶比较好在150-160℃,比较高不超过170℃丁苯橡胶、丁腈橡胶可采用150℃以上,但比较高不超过190℃;丁基橡胶、三元乙丙橡胶一般选用160-180℃,比较高不超过200℃;硅橡胶、氟橡胶一般采用二段加硫,一段温度可选170-180℃,二段硫化则选用200-230℃,按工艺要求可在4-24h范围内选择。 真空箱不需连续抽气使用时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源。舟山真空烘箱适用范围
加热功率比例可任意调节,革除低端控温无温度弊端。苏州整体成型硅橡密封圈真空烘箱PID调节
真空烘箱可供科研、院校、工矿、化工等单位实验室以及生产现场,在真空状态下对物品进行干燥和热处理等。设备利用真空泵进行抽湿。使工作室内形成真空状态有效降低水分沸点温度。加快干燥速度、避免物品加热过程中导致氧化和损坏,避免尘埃破坏。
工作室采用质量不锈钢板。钢化双层玻璃视窗,工作室内产品一目了然;箱门闭合松紧可调,整体成型硅橡密封圈,确保向内高真空度;微电脑智能控温仪,设定、测定温度;双数字显示和PID自整定功能,控温精确;加热功率比例可任意调节;真空泵采用内置泵体,噪音小易维护。 苏州整体成型硅橡密封圈真空烘箱PID调节