宁夏镀膜机腔体加工

晶体振荡器：晶体振荡器是分子束外延生长的定标设备。定标时，待蒸发源蒸发速度稳定后，将石英振荡器置于中心点。通过读出石英振荡器振荡频率的变化，可以知道蒸发源在单位时间内在衬底上长出薄膜的厚度。有的不锈钢真空腔体将晶振放在样品架放置样品位置的反面（如小腔），在新腔体的设计中单独设计了水冷晶振的法兰口，用一个直线运动装置（LinearMotion）控制晶振的伸缩。生长挡板：生长挡板通过在蒸发源和样品之间的静态或动态遮挡，可以在同一块衬底上生长出特殊几何图形或者多种不同厚度的薄膜样品。铝合金真空腔体主要应用于半导体行业，尤其是等离子清洗急和蚀刻机。宁夏镀膜机腔体加工

真空腔体的维护工作内容：

（1）真空腔体安装好后，通入相应量的氮气保压30分钟，检查有无泄漏，如发现有泄漏请用肥皂沫查找管路、管口泄漏点，找出后放掉气体拧紧，再次通入氮气保压试验，无泄漏后开始正常工作。

（2）当降温冷却时，可用水经冷却盘管进行内冷却，禁止速冷，以免过大的温差应力，造成冷却盘管、釜体产生裂纹。工作时当釜内温度大于100℃时，磁力搅拌器与釜盖间的水套应通冷却水，使得水温小于35℃，以免磁钢退磁。

（3）保护装置：采用正拱型金属爆破片，材质为不锈钢，出厂时已试验好，不得随意调整。如果已爆破，需重新更换，更换期限由使用单位根据本单位的实际情况确定，对于大于爆破片标定爆破压力而未爆破的应更换，经常使用建议不大于爆破片的下限压力的80%，更换时应注意爆破片凸面向上。

（4）反应完毕后，先进行冷却降温，再将真空腔体内的气体通过管路泄放到室外，使釜内压力降至常压，严禁带压拆卸，再将主螺栓、螺母对称地松开卸下，然后小心的取下釜盖（或升起釜盖）置于支架上，卸盖过程中应特别注意保护密封面。

（5）釜内的清冼：每次真空腔体操作完毕后，应经常清洗并保持干净，不允许用硬物质或表面粗糙的物品进行清洗。 武汉真空腔体为完成超高真空，要对腔体进行150～250℃的高温烘烤，以促使材料外表和内部的气体尽快放出。

不锈钢真空腔体功能划分集中，主要为生长区，传样测量区，抽气区三个部分。对于分子束外延生长腔，重要的参数是其中心点A的位置，即样品在生长过程中所处的位置。所以蒸发源，高能电子衍射（RHEED）元件，高能电子衍射屏，晶体振荡器，生长挡板，CCD，生长观察视窗的法兰口均对准中心点。蒸发源：由钨丝加热盛放生长物质的堆塌，通过热偶丝测量温度，堆锅中的物质被加热蒸发出来，在处于不锈钢真空腔体中心点的衬底上外延形成薄膜。每个蒸发源都有其各自的蒸发源挡板控制源的开闭，可以长出多成分或成分连续变化的薄膜样品。

腔体的基本组成及密封方式：腔体即有物理或化学反应的容器，通过对容器的结构设计与参数配置，实现工艺要求的加热、蒸发、冷却及低高速的混配功能。普遍应用于石油、化工、橡胶、农药、染料、医药和食品等领域，是用来完成硫化、硝化、氢化、烃化、聚合、缩合等工艺过程的压力容器。腔体由腔体、釜盖、夹套、搅拌器、传动装置、轴封装置、支承等组成。搅拌装置在高径比较大时，可用多层搅拌桨叶，也可根据用户的要求任意选配。釜壁外设置夹套，或在器内设置换热面，也可通过外循环进行换热。支承座有支承式或耳式支座等。转速大于160转以上宜使用齿轮减速机。

开孔数量、规格或其它要求可根据用户要求设计、制作。

1、通常在常压或低压条件下采用填料密封，一般使用压力小于2公斤。

2、在一般中等压力或抽真空情况会采用机械密封，一般压力为负压或4公斤。

3、腔体在高压或介质挥发性高得情况下会采用磁力密封，一般压力大于14公斤以上。除了磁力密封均采用水降温外，其他密封形式在大于120度以上会增加冷却水套。 不锈钢材料出气率低、机械性能好，熔融焊接性能好，加工成本低，在高真空度真空腔体设计中被普遍应用。

真空腔体进行检漏工作：

真空腔体检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。

氦质谱检漏是一项很重要的技能，因检漏效率高，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空腔体检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。其中，喷氦法和吸氦法是真空腔体氦质谱检漏常用的两种方法。 真空腔体的放料阀、压控阀内有杂物。解决办法：清洗。辽宁镀膜机腔体报价

在一些极低温度的研究中，需要把组件放在低温环境下，这就需要真空腔体设有特定的结构。宁夏镀膜机腔体加工

在科技飞速发展的现在，很多科学仪器与设备都需要在一定的真空环境下工作，真空腔体为敏感的元器件提供真空环境，保证其正常工作，因此，真空腔体的设计成为了整个真空系统设计非常重要的部分。现有的高真空度真空腔体设计形状多种多样，材料以不锈钢、铝合金、钛合金为主。铝合金重量轻、加工成本低，但由于其质地较软无法使用刀口密封方式，只能使用橡胶圈密封的方式;铝合金材质的真空腔体优点是拆装方便，不足之处是只能使用橡胶圈密封，密封方式单一，铝合金材质和橡胶圈都有很大的放气率，温度适应性差，无法使用熔融焊工艺，因此适用范围窄。钛合金重量轻但加工成本高，焊接难度大、焊接方式受限，无法用于方形真空腔体加工。不锈钢材料出气率低、机械性能好，并且熔融焊接性能好，加工成本低，在高真空度真空腔体设计中被普遍应用。宁夏镀膜机腔体加工

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