海口库存氮气柜数字化管理

    全功能洁净氮气柜：产品应用：适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标：1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@）。2）TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3）降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机：采用进口无尘室FFU风机，面风速：～；5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6）柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。氮气经过控制系统，多点分散供气，氮气可根据设定值自动切断和打开供应 。海口库存氮气柜数字化管理

    氮气柜是一种密封性能非常好的柜体，材质可选择经过静电喷塑的冷轧钢板制作或选择不锈钢材质制作。使用外接氮气才能正常工作，氮气气源经过流量计，进入智能氮气控制盒，分做两路约30多个出气孔出气，可分散的部置在氮气柜内部。多孔出气的优点不仅可以防止氮气气瓶出气后的汽化结露现象，还可以确保箱内的湿度或氧含量分布均匀。简而言之，氮气柜的目的或者说效果是防止亲水性或亲氧性的物料发生氧化或受潮霉变现象，需要连接氮气才可以正常使用。而使用干燥柜的目的则是防止湿敏性器件受潮霉变，主要参数值是相对湿度。使用时通电即可，无需其他任何耗材。智能氮气柜，相对就有非智能氮气柜，非智能氮气柜一般是一个密封性较好的箱体，使用流量计直接充入氮气，无数显表显示或内置一个单独的温湿度记录仪使用，不仅无法实现闭合控制，而且氮气消耗量巨大，使用成本过高。而三清仪器的智能氮气柜则是配置了微电脑控制系统，使用温湿度传感器或氧含量传感器（用户自行选择）采集箱内的数据，任何反馈至微电脑系统，系统会自动和用户设定的数据想比对，当箱内的实际数据达到用户的设定值时，智能氮气柜会自动的使用性能稳定的电磁阀进行切断氮气供应，从而达到节约氮气的目的。嘉兴防静电烤漆氮气柜适用范围当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、长管面具。

    采用气体分离工艺可将空气中的氮气和氧气分离生产氮气，通常使用一种特殊处理过的活性碳即碳分子筛分离空气。碳分子筛的孔径在氮气和氧气分子的直径范围内，由于氧分子比氮分子体积小，因此先被吸附在碳分子筛表面。氮分子通过分子筛床层排出进入储罐达到制氮的目的，氧分子通过设备解吸排放到大气内，达到分子筛再生的目的。经过一段时间吸附后，碳分子筛被所吸附的氧分子饱和需进行再生，再生是通过降压解吸予以实现。由于碳分子筛在低压时不能再吸附气体分子，大多数分子在降压时被排空，此种过程称为脱附。为达到连续供气，通常采用多塔式操作，在吸附筒a处于吸附状态时，吸附筒b为脱附状态，并且利用时间控制与切换，两筒互相转换为吸附与脱附状态。至于变压吸附制氮机生产的氮气则流入氮气槽，以供工厂制程使用。在开机时，由于受限于吸附筒内存在大量空气，因此要达到稳定操作时都需要经过一段时间，例如30分钟到2个小时，亦即影响生产时等待的时间。此种情况在使用多台氮气机的情况尤其严重，当氮气量不够使用，急需启动另一台氮气机时，需要花费过长的时间在等待，造成现场气源不足或纯度下降的困境。另一种情况为碳分子筛生产的工厂。

    产品特性：1.柜体采用1mm，多处加强结构，承重性能好，重叠式结构设计，密封性能好。2.表面处理采用先进的有18道工序组成的粉体橘纹烤漆，耐腐蚀性强。3.防静电机型表面处理采用先进的防静电烤漆，静电阻值为106-108欧姆，美观大方，耐腐蚀性强。4.门镶。平面加压把手锁一体化设计,有防盗功能。5.底座配可移动带刹车脚轮方便移动及固定。防静电机型脚轮为防静电脚轮。超高亮数码显示，温湿度传感器采用美国原装品牌。温湿度单独显示，湿度可设定且具有记忆功能，断电后无需再设定。7.配备氮气节约装置，当箱内湿度到达设定值时，系统会自动切断氮气供应，当超过设定值时，系统会智能打开氮气供应。相比市场其他直充氮气机型可节约70%氮气消耗量。大程度降低使用成本。8.采用多点供气系统。氮气通过30多个小孔冲入箱内，箱内氮气分布比较均匀。避免了普通单点供气而产生的死点死角现象。9.行业内通过ROHS环保的产品。避免重金属等元素污染存放的产品。湿度显示范围1-99.9RH，温度显示范围0-99.9℃。

    氮气发生器的工作原理2.膜分离制氮高压空气通过中空纤维膜组件，氮气分子和氧气分子的扩散速度差别积累，在膜组件输出端形成高纯度的氮气，形成的产品气纯度高可达99%，气体流量>5000ml/min，并且可以累加使用，不影响产品质量，在不考虑其它限制条件的情况下，气体装置可以无限扩充。这种制氮方法膜分离制氮在工业上有不少的应用，在实验室主要用于对气体纯度要求不特别高的吹扫、保护、对氧气的置换等。这类发生器的主要优点是流量大，实验室级别产品一般在50L/min上下，并可随意扩充，同时寿命长，膜组件作为核部件，在空气源稳定的情况下，寿命可达10年，且维护成本极低；缺点是氮气纯度不能达到高纯级，膜组件目前均为进口，国内不能提供，成本较高，仪器价格也相对高。氮气柜，是指一种充入氮气，用来保护一些活性较强易氧化的物料的柜体。海口定制氮气柜WMS管理

储区应备有泄漏应急处理设备。海口库存氮气柜数字化管理

    分子筛空分制氮是七十年代迅速发展起来的一种新的制氮技术。与传统制氮法相比，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点，故在1000Nm3/h以下制氮设备中颇具竞争力，越来越得到中、小型氮气用户的欢迎，PSA制氮受到中、小型氮气用户的青睐。膜空分制氮以空气为原料，在一定压力条件下，利用氧和氮等不同性质的气体在膜中具有不同的渗透速率来使氧和氮分离。和其它制氮设备相比它具有结构更为简单、体积更小、无切换阀门、维护量更少、产气更快(≤3分钟)、增容方便等优点，它特别适宜于氮气纯度≤98%的中、小型氮气用户，有较好的功能价格比。而氮气纯度在98%以上时，它与相同规格的PSA制氮机相比价格要高出15%以上。海口库存氮气柜数字化管理

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