苏州真空泵抽湿真空烘箱

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 整体成型硅橡密封圈，高真空度密封。苏州真空泵抽湿真空烘箱

烘箱在电子行业的应用：制备半导体：可满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要求；组件：解决电容器、电阻器及其他用于手机、影碟机、电视机及其他设备的电子组件的技术难题，陶瓷电容器烘烤到预热、干燥和固化，这些过程需要极为重要的温度一致性和渐进式升降温速率。；数据存储：重要数据存储元件（例如硬盘、录音磁头以及铝制或玻璃磁盘介质）的热处理，•烘烤润滑油，使涂层长久性粘贴在磁盘介质上，从而提高耐久性•铝基板磁盘的磁盘退火•玻璃基板磁盘驱动的基板固化•磁性退火衢州真空烘箱价格检查真空泵管路及结合处有无松动现象。

    真空干燥箱日常使用和维护：1、产品出厂前都经过严格的测试，一般不要进行修改，如使用时的环境恶劣，环境温度超出适宜范围，会引起温度显示值与箱内实际温度误差，如超出技术指标范围的，可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下，如打开箱门时间过长，关上箱门后即使箱内温度有些变动，这也是正常现象。3、除维修外，不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难，可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作，因此真空度达到干燥物品要求时，应先封闭真空阀，再封闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润，则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器，防止湿润气体抽进真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时，有可能会产生慢漏气现象，此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座，调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。

互感器生产工艺流程：包扎→二次线圈绕制→二次线圈检测→一次线圈绕制→装模→真空浇注→加热固化→脱模→试验。其中：真空浇注：装入模具内的互感器半成品加热干燥达到工艺要求后，送入互感器用环氧真空浇注设备内，将配置好的环氧混合材料采用真空浇注的方式注入模具内，进行真空脱气处理，达到工艺要求的真空度后，破空取出模具送入电加热烘箱加热固化。脱模：电加热烘箱内的环氧混合料(环氧树脂和硅微粉)，在模具内经过加热固化成形后，将模具从烘箱内取出，打开模具，取出互感器产品。真空烘箱真空度≤133Pa，可有效进行真空脱处理，完成真空浇注工艺将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空；

烘箱结构真空烘箱能在较低温度下获得较高的干燥速率，热量利用充足，主要合用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒办理，干燥过程中任何不纯物无混入，本干燥器属于静态真空干燥器，故干燥物料的形成不会破坏。加热方式有：蒸汽、热水、导热油、电热。在真空条件下，溶剂沸点明显降低，箱内保持温度恒定，实现样品在较低温度下快速干燥，同时供给一个无尘、无旋涡、平和的干燥环境，还使得溶剂的蒸汽易于采集，排放或再利用。空气循环系统采纳双电机水平循环送风方式，风循环平均高效。进口数显压力表，真空控制精度高，稳定性高。丽水进口数显真空烘箱调试调整

微电脑智能温控仪设定参数。苏州真空泵抽湿真空烘箱

操作流程1、将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上，推入干燥箱内；2、关紧箱门，放气阀，箱门上有螺栓，可使箱门与硅胶密封条紧密结合；3、将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空；4、依据真空泵的性能，抽到压力表为真空泵的极限值为准；5、抽完真空后，先将真空阀门关闭，如果真空阀门关不紧，请更换，然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生)6、本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。如果压力表指数下降，则可能存在漏气现象，可再进行抽气操作；7、干燥完成后，先将放气阀打开，放出里面气体，再进行打开真空干燥箱箱门，取出物料。苏州真空泵抽湿真空烘箱

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