在半导体刻蚀设备中,随着大规模集成电路集成度的不断提高以及半导体特征尺寸不断缩少,等离子体刻蚀技术面临了许多新的挑战,例如等离子刻蚀晶圆带来的污染问题、刻蚀工艺的稳定性、刻蚀技术的应用范围等。刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源,等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此,研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前,主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外,等离子体设备的气体喷嘴,气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。常州卡奇氧化铝陶瓷的特点。欢迎来电咨询常州卡奇!江苏防腐氧化铝陶瓷产品介绍
氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料,是一种用途普遍的陶瓷,具有较好的绝缘性、机械强度和耐高温性。氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种:高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其烧结温度高达1650-1990℃,透射波长为1~6μm,一般制成熔融玻璃以取代铂坩埚;利用其透光性及可耐碱金属腐蚀性用作钠灯管;在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种,有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。其中99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管及特殊耐磨材料,如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等;95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件。苏州硬质合金氧化铝陶瓷处理方法常州卡奇氧化铝陶瓷教学质量保证。欢迎来电咨询常州卡奇!
氧化铝工业陶瓷因其优异的性能现已广泛应用于国民经济的许多行业中坣壱屲,那么接下来给大家介绍一下氧化铝工业陶瓷的生产工艺。氧化铝工业陶瓷材质已不少见,这种陶瓷材料应用了氧化铝的化学性质,坣壱屲但并不是将氧化铝与陶瓷结合,这种氧化铝工业陶瓷的材质与其他相同通途的不同材质相比,导热性与延展性都有着很大的优势,氧化铝也就是化学上三氧化二铝(Al2O3)的学名,坣壱屲而陶瓷的化学成分通常都是二氧化硅(SiO2)和碳酸钙(CaCO3)。
氧化铝陶瓷制品成型方法:氧化铝陶瓷制品成型方法有干压、注浆、挤压、冷等静压、注射、流延、热压与热等静压成型等多种方法。近几年来国内外又开发出压滤成型、直接凝固注模成型、凝胶注成型、离心注浆成型与固体自由成型等成型技术方法。不同的产品形状、尺寸、复杂造型与精度的产品需要不同的成型方法。常用成型方式有干压成型和注浆成型:1、干压成型:氧化铝陶瓷干压成型技术只于形状单纯且内壁厚度超过1mm,长度与直径之比不大于4∶1的物件。成型方法有单轴向或双向。压机有液压式、机械式两种,可呈半自动或全自动成型方式。压机最大压力为200Mpa。产量每分钟可达15~50件。由于液压式压机冲程压力均匀,故在粉料充填有差异时压制件高度不同。而机械式压机施加压力大小因粉体充填多少而变化,易导致烧结后尺寸收缩产生差异,影响产品质量。因此干压过程中粉体颗粒均匀分布对模具充填非常重要。充填量准确与否对制造的氧化铝陶瓷零件尺寸精度控制影响很大。粉体颗粒以大于60μm、介于60~200目之间可获比较大自由流动效果,取得比较好压力成型效果。 氧化铝陶瓷的定制尺寸。欢迎来电咨询常州卡奇!
现代的人们对氧化铝这种陶瓷材料使用非常普遍,这是一种新型氧化铝陶瓷的生产工艺,通过不断的改造加工制备而成的一种材料,在使用方面,材料的硬度和强度都在明显的上升。氧化铝陶瓷具备非常好的耐磨性能,耐磨性远远地的超出了不锈钢板材,强劲的强度决策了它的使用期,比得上一般的瓷器使用时间长达十倍之上;它的强度媲美金钢石,尽管差一点,可是相比不锈钢板和耐磨钢板具备优势;虽然硬度大、耐磨性强,但是它十分的轻巧,一点也不厚重,操作起来更加的方便。氧化铝陶瓷工作步骤?欢迎来电咨询常州卡奇!安徽金属表面氧化铝陶瓷修复
氧化铝陶瓷的应用范围十分广阔。欢迎来电咨询常州卡奇!江苏防腐氧化铝陶瓷产品介绍
氧化铝,也称为氧化铝,是一种耐磨的高级技术陶瓷材料,经常用于各种工业应用。它具有高硬度和耐磨性、低侵蚀水平、耐高温、耐腐蚀和生物惰性。此外,它可以高度抛光,使其适用于泵和活塞等精密密封应用。氧化铝具有高温稳定性,是一种优良的高温陶瓷材料。它是常用的高级陶瓷类型,纯度范围为 95 – 99.9%。氧化铝的一些主要优势包括:耐高温能力——氧化铝可用于高达1650°C(2900°F)的氧化和还原气氛以及高达2000°C(3600°F)的真空环境。耐磨-氧化铝是一种非常坚硬的陶瓷,具有出色的耐磨性。它是耐磨嵌件或产品的理想选择。电绝缘体–氧化铝通常用作高温电绝缘体,特别是提供更好电阻率的更高纯度等级。耐化学性——氧化铝在高温下对强酸和强碱具有良好的耐受性,是需要耐腐蚀性物质的应用的理想选择。江苏防腐氧化铝陶瓷产品介绍
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