激光LIGA 技术
它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻,从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题,同时激光光源的经济性和使用的普遍性明显优于同步辐射载光源,从而有效降低 LIGA 工艺的制造成本,使LIGA技术得以广泛应用。尽管激光LIGA 技术在加工微构件高径比方面比载射线差,但对于一般的微构件加工完全可以接受。此外,激光LIGA 工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影,而是“直写”刻蚀,不存在化学腐蚀的横向浸润腐蚀影响,因而加工边缘陡直,精度高,光刻性能优于同步载射线光刻。 微孔加工工艺有哪些方法?浙江微孔加工机
随着电子产品朝着便携式、小型化的方向发展,单位体积信息的提高(高密度)和单位时间处理速度的提高(高速化)对微电子封装技术提出不断增长的新需求。例如现代手机和数码相机每平方厘米安装大约为1200条互连线。提高芯片封装水平的关键之处就是在不同层面的线路之间保留微型过孔的存在,这样通过微型过孔不仅提供了表面安装器件与下面信号面板之间的高速连接,而且有效地减小了封装面积。 山东机械微孔加工激光模具雕刻属于激光微孔加工中的一种。
激光微加工技术在设备制造业、汽车以及航空精密制造业和各种微细加工业中可用激光进行切割、钻孔、雕刻、划线、热渗透、焊接等,如20多微米大小的喷墨打印机的喷墨口的加工。电火花能加工任何导电材料的各种不同截面形状的小孔,小孔径或槽宽可达5μ,尺寸精度可达2μm,表面粗糙度达Ra0.32μm,电火花小孔磨削可达Ra0.08μm,加工微小孔时电极与工件间无任何的机械力作用,所以可加工薄壁、弹性件等低刚度零件,也可在斜面上加工,还可加工一些弯孔。但是,电火花加工的速度极低,加工的成本比较高,用于加工小孔的电极铜工的制造难度较大,其电极铜工的装夹和校准也相当困难,对于批量生产难度很大,只能针对极少数的小孔。
激光直写技术
准分子激光波长短、聚焦光斑直径小、功率密度高,非常适合于微加工和半导体材料加工。在准分子激光微加工系统中,大多采用掩膜投影加工,也可以不用掩膜,直接利用聚焦光斑刻蚀工件,将准分子激光技术与数控技术相结合,综合激光光束扫描与X-Y 工作台的相对运动以及Z 方向的微进给,可以直接在基体材料上扫描刻写出微细图形,或加工出三维微细结构。目前采用准分子激光直写方式可加工出线宽为数微米的高深宽比微细结构。另外,利用准分子激光采取类似快速成型(RP)制造技术,采用逐层扫描的方式进行三维微加工的研究也已取得较好结果。 孔的大小决定了加工的难度。
随着科学技术的发展,电子产品也变得越来越小型化,以至于线路板的尺寸也在不断减小。在这种情况下,线路板上用于连接和定位的微孔孔径也在逐渐减小,从而给微孔加工带来了一定的挑战。激光微孔加工技术之所以能够在多个领域得到广泛应用,就是由于其技术拥有较高峰值的功率和较快的加工速度。而在印刷线路板生产中,微孔加工质量将对线路板质量产生重要影响。应用激光微孔加工技术进行线路板生产,则能得到质量更好的线路板,从而为线路板的安装和使用提供便利。因此,还应加强对激光微孔加工技术在印刷线路板生产中的应用研究,以便更好的推动线路板生产工业的发展。
微孔加工时需要保证孔的直径和深度尺寸的精度。江苏高精密微孔加工批发
水助激光加工适合于各种高精度微细薄片器件的研制。浙江微孔加工机
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