真空自动控制系统的分类，按控制系统的结构分①开环控制系统。是指系统的输出量对系统的控制作用没有影响的系统（即无反馈回路）。例如，真空泵的控制即为这类系统。开环控制的缺点是控制过程受到各种扰动因素影响时，将会直接影响输出量，而控制系统不能自动补偿。②闭环控制系统。若系统能够对被控制对象的输出信号（被控制量）进行连续测量，并通过反馈环节反馈到控制装置输入端，与输入信号（给定值）进行比较，形成偏差信号。控制装暨对偏差信号进行运算（如PID运算），根据运算结果发出信号去控制被控制对象的输出，使被控制量与给定值的偏差保持在允许范围，整个控制系统形成闭合回路，故称为闭环控制系统，又称为反馈系统。闭环控制系统的特点是可以纠正由于不可预测的扰动引起的被控制量大的波动，例如，真空度自动控制系统及连续蒸发镀膜中的恒张力自动控制系统等均为闭环系统。利用真空泵的特殊工艺-真空辅助薄膜技术，可以使工件产生具有特殊性能的薄膜表面。安徽国产真空泵分类
油封式机械真空泵按结构型式可分为定片式、旋片式和滑阀式三种。他们都是利用真空泵油来润滑、密封和降温；都是靠转子在泵壳内运动使转子、叶片、泵壳之间的容积周期性变化，以达到抽气和排气的目的。一、定片式真空泵，其结构简单且使用寿命长，检修容易，双级泵的极限真空度可达10–3Torr，但抽速较小，应用很少。二、旋片式真空泵，分为单级旋片式真空泵（由定子、旋片、转子等组成，只有一个工作室）和双级旋片式真空泵（它由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室为Ⅱ室的前级）。三、滑阀式真空泵，主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。安徽国产真空泵分类真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。
根据调查报告显示，在我国真空泵市场上，外国真空泵因性能良好、客户群体稳固，在国内市场拥有一席之地。他们的胃口很大，势有鲸吞真空泵市场之势。不过近年来，随着国内一些具备实力的真空泵企业逐渐崛起，比如昊青气体装备，在真空泵市场上占据了地位，但是多数企业研发创新能力不强，与国外同行相比还存在较大的差距。总的来看，国产真空泵在各个领域已经得到普遍应用并通过验证，有些真空泵还出口国外，得到国外用户的认可，应该说，我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。在此背景下，我国生产真空泵的厂家不断增多，未来竞争也愈加激烈，制造企业必须结合各领域的不同需求以及新的需求，不断改进升级设备，才能助力用户实现更好的生产。另外，业指出，提高产品可靠性、降低噪声、减少污染，提高产品综合性能指标也是真空技术发展的主要趋势，需要企业牢牢把握。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度。
当抽吸腐蚀性过程气体时，存在气体可能破坏泵部件的风险。为了避免这个危险，敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起来。因此，泵体内装有特殊的进气系统，凭借该系统，气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，主要是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂存储罐、与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触，也建议免润滑的涡轮分子泵使用除轴承密封气体外，具有过程能力的干式前级泵也具有净化气体注入流程泵的各个抽吸阶段。过程有关的净化气体流量使用校准喷头上游的压力调节器或流量调节器（质量流量控制器或MFC）进行调节，以及通过压力传感器和开关进行监控。如果是金属精密加工，要对切削液进行分离，切削液不能进入真空泵里。安徽国产真空泵分类
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。安徽国产真空泵分类
所谓真空，是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：1、极限真空(通常称为真空度)：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。安徽国产真空泵分类
昊青气体装备技术（江苏）有限公司专注技术创新和产品研发，发展规模团队不断壮大。一批专业的技术团队，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。昊青气体装备技术（江苏）有限公司主营业务涵盖真空泵，鼓风机，压缩机，坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针，赢得广大客户的支持和信赖。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了良好的真空泵，鼓风机，压缩机形象，赢得了社会各界的信任和认可。
