形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程，导程少，可有效减少泵的体积与重量，适用于大抽速领域，但其型线复杂，需特制道具与专用机床，加工费用昂贵，且由于泄漏三角的因素，真空度不高，因此市场上并不多见。单头型线适用于中小型螺杆式真空泵，市场上也多为单头螺杆式真空泵。其中等螺距螺杆式真空泵腔内无压缩，可以轻松排出固体颗粒与可凝性气体，但其排气温度与能耗度较高；变螺距螺杆式真空泵腔内有压缩，排气温度低、能耗低，但对粉尘颗粒以及可凝性气体的耐受性不如等螺距。螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。北京高压真空泵公司
真空泵选择的依据和条件。（1）系统对真空度的要求。根据系统对真空度的要求，选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。（2）系统正常工作时的压力范围。要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力。（3）被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求。被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。（4）系统被抽气量或体积流量。它是决定选择某一类型真空泵的主要依据。广东节能真空泵使用螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。
半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。
选择真空泵时，需要考虑多个因素。首先，您的选择要符合您的预期用途，这样可以帮助您确定技术，润滑，耐化学性，真空度和必要的流量。选择真空泵的关键因素是质量和所需的真空水平。有几种类型的真空：工业或低真空、高真空和超高真空。三者之间的区别在于所获得的分子数量的稀缺性，这是通过残余气体的压力来衡量的。压力越小，每立方厘米的分子数越少。因此，真空质量更高。还要考虑以下特征：泵流量：流量与机器的排空时间有关。因此，有必要根据工艺需求评估真空泵产生所需泵速（体积流量）和质量流量的能力。通常，流量越大，排水时间越短。化学相容性：通过分析设备可能遇到的所有问题，需要考虑您所用的气体与所选真空泵的兼容性。润滑：明确是否需要润滑真空泵。润滑过的真空泵具有更高的效率，更耐用。但是，它需要频繁的定期维护。在实验室环境中，更好使用干式真空泵。维护和成本费用：根据上述标准，需要分析维护周期的频率。这些因素会决定安装的总成本，需要考虑购买价格以及操作和维护的成本。现实中，由于选型不合理，许多真空泵处于不正常状态运行，造成能源浪费，维修成本增加，甚至根本无法工作。
昊青气体装备的油封螺杆式真空泵，采用变频驱动系统，VCS矢量变频驱动，配合永磁同步电机，变频启动，快速大范围动态响应，也能在目标工况精确控制。系统采用工业领域定制的变频器，效率高、稳定可靠。EB-1智能控制系统，可编程智能工业控制器，具有上电自检、运行逻辑控制、运行监测、故障报警、维保提示等一系列功能；6"彩色触摸屏，界面美观友好，操作简单方便；提供RS485接口，原生支持modbus协议，支持上位机联控和多机直接联控；内置物联网模块，支持物联网，可远程通过PC和移动端进行监控。真空泵从原始的水泵开始发展成为现有的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、升华泵等数十种。重庆螺杆真空泵使用
真空泵在使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。北京高压真空泵公司
昊青气体装备在设计真空泵之初，就充分考虑到润滑油对真空泵使用的影响。真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。由于真空泵要求真空度很高，一般使用石蜡基窄馏分润滑油。如果为扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。伴随真空泵不断向高转速度发展，滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此，要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。与此同时，真空泵使用过程中可能吸入腐蚀性气体或者水汽，这就要求真空泵油具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。真空泵油要求纯度高不携带轻质组分，以免影响油品饱和蒸汽压。北京高压真空泵公司
昊青气体装备技术（江苏）有限公司属于机械及行业设备的高新企业，技术力量雄厚。是一家有限责任公司企业，随着市场的发展和生产的需求，与多家企业合作研究，在原有产品的基础上经过不断改进，追求新型，在强化内部管理，完善结构调整的同时，良好的质量、合理的价格、完善的服务，在业界受到宽泛好评。以满足顾客要求为己任；以顾客永远满意为标准；以保持行业优先为目标，提供高品质的真空泵，鼓风机，压缩机。昊青气体装备将以真诚的服务、创新的理念、高品质的产品，为彼此赢得全新的未来！
