电子面板生产车间设计

车间净化的净化设备： 通过对较大固体、粉尘颗粒在前段进行彻底的拦截，地减轻了后端多级过滤的压力。二次过滤气相拦截：高压碰撞离心分离拦截液相雾气。高压碰撞技术：气溶胶 粒子被粗效过滤件收集，细小的颗粒有逐级滤材完成。离心分离拦截液相雾 气：在气流中由不同的工作件定向收集介质对象，不同的介质选用合适的过滤结构和材质。个性滤网拦截气溶胶粒子：在气流结构方面改良固有结构减少阻力提高效率。各风道口表面选用美国杜邦公司生产的F4进行处理，使机器过滤精度高寿命长。三次过滤真空吸雾：含有细小粉尘的各油雾经第三级分离被收集后，经后置活性炭过滤器能有效祛除异味和有害气体，洁净空气在风机负压的作用下，经风机直接排入空气中。是用空气洁净技术取代传统的紫外线等手段对全过程实行污染控制的现代手术室。电子面板生产车间设计

洁净室中的温湿度控制：相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。气压规定：对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。上海万级净化设计合理协调安排净化车间施工分项的施工时间，采取节约用电、用水措施。

净化工程的解决方案：各种不同的加湿器的应用范围不同：如：淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器，其特点是加湿量大、投资费用低，而相对湿度控制精度较差，因此多用于相对湿度要求不严格（> ±10%），加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调系统加湿。而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。对于以微生物为控制对象的生物洁净室（例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等）其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，只能采用干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿。

净化工程的控制：对综合通讯的干扰，这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适，可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。向有很高的要求。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式：一般照明，它指不考虑特殊的局部需要，为照亮整个被照面积而设置的照明。局部照明，这是指为增加某一指定地点（如工作点）的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。净化室有害气体之排除，结构物与隔间之气密性。

光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区；洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）；管理区（包括办公、值班、管理和休息）；设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房）。材料：净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。净化室空调风管、风口、高效过滤器与壁顶板间的缝隙应涂密封硅胶。医药药厂洁净装修

净化车间的圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板。电子面板生产车间设计

光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点：无尘车间，洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。室内空气参数要求 ：温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量。电子面板生产车间设计

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