洁净室的分类:
一、按受控粒子的性质划分(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。
二、按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室
(1) 非单向流洁净室
(2) 单向流洁净室
(3) 矢量洁净室
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洁净风管的制作、搬运、安装是确保洁净度的关键
要注意:接缝:不允许管道有横向接缝,纵向接缝也应尽量少,当底边小于等于800mm时,底边也不许有纵向接缝;咬口:应尽量采用联合角或转角咬口,6级以上的洁净风管不得使用按扣式咬口;密封:所有咬口缝、法兰翻边及铆钉处必须涂密封胶防止漏风;各种密封垫严禁表面涂刷涂料;加固筋:不许设在管内;法兰:四角应设螺钉孔,孔距小于100mm,螺钉、螺母、垫片及铆钉均应镀锌;测孔:管径大于500mm的应设清扫及各种测孔;存放:制作完成后用中性清洗液清洗,干燥后用塑料膜封口以待安装;拆封:只允许在安装时拆开管道端口封膜,安装中间停顿时应再封好端口;清洁:风管零部件安装时要***表面的油污和尘土,并使用不易掉纤维的材料多次擦拭系统内表面;漏风检查:系统安装后,保温前进行漏风检查。(1~5级系统按高压系统风管规定执行,6~9级系统按中压系统风管执行),可以用大于100W的低压照明灯进行漏光检测,低压系统每10米接缝漏光点不大于2处,每100米平均不大于16处为合格;中压系统每10米接缝漏光点不大于1处,每100米平均不大于8处为合格。 浙江半导体车间无尘车间无尘房设计施工-请咨询统钜净化上海成立近十五年技术18年行业经验,合同信用AAA级企业,通过ISO9001认证。
洁净室的好与不好,主要是与洁净室的环境相关联,有的企业在生产(Produce)时必须要求有洁净室,同时对于洁净室的各项参数(parameter)还有相关的要求,于是洁净室在建设的时候,就要考虑(consider)到企业生产的需求,并且根据企业生产要求的环境不同而进行建设,而不是随便建立一个无尘的洁净室就可以的,一定要符合产品的生产工艺(production engineering)。洁净车间控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。
洁净室的空态、静态、动态是什么意思 ?
空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
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洁净室的负荷特点和节能
(1) 洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积。
(2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。 洁净实验室施工-请咨询统钜净化上海成立近十五年技术18年行业经验,合同信用AAA级企业,通过ISO9001认证。湖北千级超净室
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